沈阳富创精密设备股份有限公司夏文通获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳富创精密设备股份有限公司申请的专利一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118737920B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410661124.8,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构是由夏文通;赵闯;王杨设计研发完成,并于2024-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构,销导向板通过导向板安装柱定位和安装在中间板上,其作用是接触定位销并导正晶舟盒搬运小车,实现晶舟盒搬运小车左右方向的定位。锁止块通过铰链销安装在锁止座上,并与拉杆相连,拉杆在脚踏连杆的拖动下可绕铰链转动,形成一个双摇杆连杆机构,人工可以在连接在脚踏连杆上的脚踏杆施加向下的力实现机构的运动,最终在锁止块弹簧和拉簧拉力的作用下复位。本发明通过人工推动小车,自动锁止机构经过导向槽口、弹簧和锁止块的多方向限位,实现与SEMIE83标准接口的准确定位和自动锁止,还可方便解锁,从而实现小车与晶圆装载结构的相对位置确定。
本发明授权一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构在权利要求书中公布了:1.一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构,其特征在于:包括安装板(1)、立板(2)、中间板(3)、脚踏杆(4)、拉杆(5)、锁止座(6)、锁止块(7)、销导向板(8)、顶轴(9)、尼龙垫(10)、尼龙撞块(11)、连接杆(12)、支撑轴(13)、停止块(14)、脚踏连杆(15)、锁止块弹簧(16)、直线轴承(17)、顶轴弹簧(18)、弹簧支柱(19)、拉簧(20)、导向板安装柱(21)、等高螺栓(22)、调整螺栓(23)、铰链杆(24)和铰链销(25); 所述中间板(3)设有多个销孔和安装孔; 所述销导向板(8)通过导向板安装柱(21)从中间板(3)下端面的销孔穿过从而定位和安装; 所述中间板(3)上端通过设置两立板(2)连接安装板(1),安装板(1)通过螺栓安装在搬运小车框架底部; 所述脚踏连杆(15)之间分布有多个支撑轴(13),脚踏连杆(15)前端倾斜向下,后端呈Z字型; 所述脚踏连杆(15)前端设有连接杆(12); 所述脚踏连杆(15)前端头设有圆孔,通过铰链杆(24)与拉杆(5)连接; 所述脚踏连杆后端设有停止块(14),其尾部通过螺钉连接脚踏杆(4); 所述拉杆(5)两侧均设有锁止座(6),锁止块(7)通过铰链销(25)安装在锁止座(6)上; 所述锁止块(7)通过等高螺栓(22)与拉杆(5)相连; 所述弹簧支柱(19)穿过连接杆(12)中心与拉簧(20)一端连接;拉簧(20)另一端与中间板(3)连接; 所述调整螺栓(23)穿过锁止座(6)设置在锁止块(7)上,其中锁止块(7)与锁止座之间的调整螺栓上设有锁止块弹簧(16); 所述直线轴承(17)通过螺钉连接在立板两侧的中间板下端面上,且对称设置;直线轴承(17)一端安装顶轴(9),另一端安装尼龙撞块(11),顶轴弹簧(18)设置在尼龙撞块(11)与直线轴承(17)之间,尼龙垫(10)设置在顶轴弹簧(18)与直线轴承(17)之间; 所述锁止块(7)呈L型,其前侧下端设有导向斜面(26),锁止块(7)在推力的作用下接触到SEMIE83接口定位板时绕铰链销(25)旋转,通过导向斜面过渡后,在锁止块弹簧作用下卡入SEMIE83接口定位板的卡槽内,同时尼龙撞块(11)也插入到SEMIE83接口定位板圆槽内,实现横向和纵向的定位锁止。
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