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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利半导体设备的加热控制方法和加热控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118726954B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410722351.7，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权半导体设备的加热控制方法和加热控制系统是由左志耀;马法君;金隽设计研发完成，并于2024-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体设备的加热控制方法和加热控制系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种半导体设备的加热控制方法及控制系统，本发明的加热控制方法中，通过步骤Si得到第一加热区和第二加热区各自的第i最佳升温功率以进行第i升温过程，并且步骤Si+n根据目标温度相关参数，步骤Si中的预测温度相关参数，以及第一加热区和第二加热区各自的系统延迟修正值进行预测计算，使得下一步骤对最佳升温功率的预测均基于上一步骤所预测得到的预测温度相关参数，相比于基于上一步骤的实时温度相关参数对最佳升温功率进行预测，显著缩短了温度控制的平衡时间，且步骤Si+n的预测计算引入了步骤Si得到的各加热区的系统延迟修正值，减轻或避免Si+n执行过程中因系统响应延迟造成的温度稳定时间长且不稳定的问题。

本发明授权半导体设备的加热控制方法和加热控制系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的加热控制方法，其特征在于：所述半导体设备包括加热装置及被加热装置，所述加热装置为相邻的第一加热区和第二加热区，所述第一加热区和所述第二加热区发热以分别向所述被加热装置的相邻第一受热区和第二受热区传热，所述加热控制方法包括以下步骤： S0：获取目标温度Tset以及与所述目标温度Tset对应的目标功率Pset，通过控制所述加热装置使所述第一加热区和所述第二加热区发热； Si：对第i调温过程进行第i预测计算：根据所述目标温度Tset、所述目标功率Pset，以及获取到的所述第一受热区的当前温度Ta0和对应的当前功率Pa0进行计算，得到所述第一加热区所对应的第i代价函数Cai，然后对第i代价函数Cai进行最小化得到所述第一加热区的第i最佳调温功率Popt-ai；据所述目标温度Tset、所述目标功率Pset，以及所述第二受热区的当前温度Tb0和对应的当前功率Pb0进行计算，得到所述第二加热区所对应的第i代价函数Cbi，然后对第i代价函数Cbi进行最小化得到所述第二加热区的第i最佳调温功率Popt-bi；根据所述第一受热区的所述当前温度Ta0和所述当前功率Pa0，以及所述第二受热区的当前温度Tb0进行计算，得到所述第一受热区的第i预测温度Tai和对应的第i预测功率Pai；根据所述第二受热区的当前温度Tb0和所述当前功率Pb0，以及所述第一受热区的当前温度Ta0进行计算，得到所述第二受热区的第i预测温度Tbi和对应的第i预测功率Pbi； 控制所述第一加热区和所述第二加热区分别以各自的第i最佳调温功率进行所述第i调温过程； 获取并根据与所述第一加热区和所述第二加热区各自的第i最佳调温功率对应的控制指令的发出时间、以及所述第一受热区和所述第二受热区各自的实时温度与时间对应关系进行修正计算，得到所述第一加热区和所述第二加热区各自的系统延迟修正值； Si+n：对第（i+n）调温过程进行第（i+n）预测计算：根据所述目标温度Tset、所述目标功率Pset、所述第一受热区的所述第i预测温度Tai和所述第i预测功率Pai进行计算，得到所述第一加热区所对应的第（i+n）代价函数Cai+n，然后对第（i+n）代价函数Cai+n进行最小化得到所述第一加热区的第（i+n）最佳调温功率Popt-ai+n；根据所述目标温度Tset、所述目标功率Pset、所述第二受热区的所述第i预测温度Tbi和所述第i预测功率Pbi进行计算，得到所述第二加热区所对应的第（i+n）代价函数Cbi+n，然后对第（i+n）代价函数Cbi+n进行最小化得到所述第二加热区的第（i+n）最佳调温功率Popt-bi+n；根据所述第一受热区的所述第i预测温度Tai和所述第i预测功率Pai，所述第二受热区的所述第i预测温度Tbi以及所述第一加热区的系统延迟修正值Dsa进行计算，得到所述第一受热区的第（i+n）预测温度Ta（i+n）和对应的第（i+n）预测功率Pai+n；根据所述第二受热区的所述第i预测温度Tbi和所述第i预测功率Pbi，所述第一受热区的所述第i预测温度Tai以及所述第二加热区的系统延迟修正值Dsb进行计算，得到所述第二受热区的第（i+n）预测温度Tbi+n和对应的第（i+n）预测功率Pbi+n；控制所述第一加热区以第（i+n）最佳调温功率Popt-ai+n、所述第二加热区以第（i+n）最佳调温功率Popt-bi+n进行所述第（i+n）调温过程； 重复执行所述步骤（i+n）直至所述第一受热区和所述第二受热区各自达到所述目标温度，n为大于等于1的正整数且顺序取值；其中， ， ； ， ； ; ； ，； ，； ; ； 其中，α为调温速率相关系数，是热传导系数，σ是Stefan-Boltzmann常数。

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