南京宽能半导体有限公司谢慧青获国家专利权
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龙图腾网获悉南京宽能半导体有限公司申请的专利一种晶圆加工辅助夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273258U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421548702.9，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆加工辅助夹具是由谢慧青;李宜哲;吴昱萱设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工辅助夹具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆加工辅助夹具，包括壳体，所述壳体的底部内壁固定连接有多个定位柱，多个定位柱之间活动连接有支撑板，支撑板的顶部设有夹持组件，所述定位柱的外侧套接有弹簧，且弹簧的两端分别与壳体和支撑板相固定，所述壳体的一侧开设有圆槽，圆槽内活动连接有转盘，转盘的两侧均开设有卡槽，所述壳体的一侧开设有滑槽，滑槽内活动连接有滑杆，所述滑杆的另一端固定连接有连接板。本实用新型不仅能够便于工作人员对晶圆进行翻转，节省了工作人员的时间，同时能够通过第二卡块对支撑板进行辅助支撑，还能够通过挡环对支撑板移动的高度进行限制。
本实用新型一种晶圆加工辅助夹具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工辅助夹具，包括壳体（8），其特征在于，所述壳体（8）的底部内壁固定连接有多个定位柱（9），多个定位柱（9）之间活动连接有支撑板（7），支撑板（7）的顶部设有夹持组件，所述定位柱（9）的外侧套接有弹簧（10），且弹簧（10）的两端分别与壳体（8）和支撑板（7）相固定，所述壳体（8）的一侧开设有圆槽，圆槽内活动连接有转盘（5），转盘（5）的两侧均开设有卡槽（18），所述壳体（8）的一侧开设有滑槽（17），滑槽（17）内活动连接有滑杆（15），所述滑杆（15）的另一端固定连接有连接板（13），连接板（13）的一侧通过螺上固定有第一卡块（12），且第一卡块（12）与卡槽（18）相卡接，所述连接板（13）的内部活动连接有第二螺纹杆（14），且第二螺纹杆（14）与壳体（8）转动连接，所述转盘（5）的一侧固定连接有两个凸块（6），且凸块（6）与支撑板（7）相接触。
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