大连皓宇电子科技有限公司范震获国家专利权
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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种应用于晶圆生产设备的多通道射频电流检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223272588U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421721958.5，技术领域涉及：G01R19/00；该实用新型一种应用于晶圆生产设备的多通道射频电流检测装置是由范震;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于晶圆生产设备的多通道射频电流检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种应用于晶圆生产设备的多通道射频电流检测装置，包括：通道选择器和检测电路；电路输出端与选择器输入端相连；选择器输出端与晶圆生产设备相连；检测电路检测射频电流信号，转换为电压信号输出通道选择器，电路包括检测传感器，连接电缆和信号传输电路；检测传感器检测射频电流信号转换为电压信号；电缆将电压信号传输到信号传输电路；信号传输电路包括信号接收电路和信号转换输出电路；接收电路用于接收电压信号；转换输出电路用于放大电压信号，输出到通道选择器；装置能够匹配多通道的6寸PECVD设备，选择不同数量的通道，实时检测射频电源是否输入到腔室内，确定是否向腔体内输入气体，保证晶圆生产质量，减少生产浪费。
本实用新型一种应用于晶圆生产设备的多通道射频电流检测装置在权利要求书中公布了：1.一种应用于晶圆生产设备的多通道射频电流检测装置，其特征在于，包括：通道选择器和多个相互独立的检测电路； 所述多个相互独立的检测电路的输出端与所述通道选择器的多个输入端口相连；所述通道选择器的多个输出端口与晶圆生产设备相连； 所述通道选择器用于为晶圆生产设备与所述检测电路提供连接通道，并能够按需调整所述连接通道的数量；所述检测电路用于检测射频电流信号，并将所述射频电流信号转换为电压信号输出至通道选择器； 所述检测电路包括检测传感器，连接电缆和信号传输电路； 所述检测传感器为线圈电感，用于检测设备中的射频电流信号并将所述射频电流信号转换为电压信号；所述连接电缆用于将所述电压信号传输到所述信号传输电路； 所述信号传输电路包括信号接收电路和信号转换输出电路；所述信号接收电路用于接收所述检测传感器传输的电压信号；所述信号转换输出电路用于放大所述电压信号，输出到通道选择器。
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