中国科学院合肥物质科学研究院罗海燕获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利点扫描缺陷检测位置触发与同步采集系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223272421U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421782827.8，技术领域涉及：G01N21/64；该实用新型点扫描缺陷检测位置触发与同步采集系统是由罗海燕;汝玉;金伟;周佐达;瞿顶军;丁睿哲;李志伟;熊伟设计研发完成，并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本点扫描缺陷检测位置触发与同步采集系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆表面缺陷检测技术领域，公开了一种点扫描缺陷检测位置触发与同步采集系统。所述系统包括：探测模块，用于探测晶圆的表面缺陷信号；采集模块，与所述探测模块连接，用于采集所述探测模块探测到的所述晶圆的表面缺陷信号；控制器模块，与所述采集模块连接，用于控制所述采集模块进行采集；运动模块，与所述控制器模块连接，所述运动模块用于放置待检测的晶圆，用于带动所述晶圆转动，以使得所述探测模块探测所述晶圆上的不同位置。该系统可以提高缺陷检测采样点的完整性和缺陷位置精度。
本实用新型点扫描缺陷检测位置触发与同步采集系统在权利要求书中公布了：1.一种点扫描缺陷检测位置触发与同步采集系统，其特征在于，所述系统包括： 探测模块，用于探测晶圆的表面缺陷信号； 采集模块，与所述探测模块连接，用于采集所述探测模块探测到的所述晶圆的表面缺陷信号； 控制器模块，与所述采集模块连接，用于控制所述采集模块进行采集，控制器模块是FPGA； 运动模块，与所述控制器模块连接，所述运动模块用于放置待检测的晶圆，用于带动所述晶圆转动，以使得所述探测模块探测所述晶圆上的不同位置； 所述探测模块包括： 探测器，用于探测所述晶圆的表面缺陷信号并输出电流信号； 模拟前端，与所述探测器连接，用于将所述电流信号放大并转换成电压信号。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院合肥物质科学研究院，其通讯地址为：230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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