江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司毛烨琪获国家专利权
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龙图腾网获悉江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种RTA机台退火载片治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273260U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421939804.3，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种RTA机台退火载片治具是由毛烨琪;陈景超;吕守贵;郭磊;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成，并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种RTA机台退火载片治具在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种RTA机台退火载片治具，包括承载盘，承载盘上设有若干载片凹槽，载片凹槽用于承载待退火的晶圆片，载片凹槽包括环形的上载片台和圆形的下载片台，下载片台设于上载片台的环形内且与上载片台同轴心，上载片台的内径与下载片台的直径相同，下载片台的槽深大于上载片台的槽深，下载片台内设有若干立柱，立柱的高度与下载片台和上载片台的槽深差相同，晶圆片的边缘置于上载片台上，晶圆片的中部置于若干立柱上，上载片台和若干立柱用于支撑晶圆片，上载片台上设有弧形的取片槽，取片槽的底部与下载片台的底部平齐。本实用新型提供的RTA机台退火载片治具，有效的减少了晶圆片表面摩擦划伤，提高产品良率。
本实用新型一种RTA机台退火载片治具在权利要求书中公布了：1.一种RTA机台退火载片治具，其特征在于，包括承载盘，所述承载盘上设有若干载片凹槽，所述载片凹槽用于承载待退火的晶圆片，所述载片凹槽包括环形的上载片台和圆形的下载片台，所述下载片台设于所述上载片台的环形内且与所述上载片台同轴心，所述上载片台的内径与所述下载片台的直径相同，所述下载片台的槽深大于所述上载片台的槽深，所述下载片台内设有若干立柱，所述立柱的高度与所述下载片台和所述上载片台的槽深差相同，所述晶圆片的边缘置于所述上载片台上，所述晶圆片的中部置于若干所述立柱上，所述上载片台和若干所述立柱用于支撑所述晶圆片，所述上载片台上设有弧形的取片槽，所述取片槽的底部与所述下载片台的底部平齐。
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