重庆芯联微电子有限公司林纪光获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利离子注入灯丝安装总成获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223273211U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422069788.3,技术领域涉及:H01J37/04;该实用新型离子注入灯丝安装总成是由林纪光设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入灯丝安装总成在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,提供了一种离子注入灯丝安装总成,包括:阴极、固定单元和距离标定单元;所述阴极沿第一方向运动的设置于所述固定单元;所述阴极上具有一阻挡件,所述阻挡件位于所述固定单元沿第一方向的一侧,以限定所述阴极沿所述第一方向相对所述固定单元运动的极限位置;所述距离标定单元可拆卸的设置于所述阴极,所述距离标定单元位于所述阻挡件与所述固定单元之间,用于标定所述阴极与灯丝的距离。如此配置,通过距离标定单元的厚度尺寸用于精确的标定灯丝距离阴极的距离,有助于提供稳定的离子源。
本实用新型离子注入灯丝安装总成在权利要求书中公布了:1.一种离子注入灯丝安装总成,其特征在于,包括:阴极、固定单元和距离标定单元; 所述阴极沿第一方向运动的设置于所述固定单元; 所述阴极上具有一阻挡件,所述阻挡件位于所述固定单元沿第一方向的一侧,以限定所述阴极沿所述第一方向相对所述固定单元运动的极限位置; 所述距离标定单元可拆卸的设置于所述阴极,所述距离标定单元位于所述阻挡件与所述固定单元之间,用于标定所述阴极与灯丝的距离。
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