湖南联合半导体科技有限公司杨泰生获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南联合半导体科技有限公司申请的专利一种CVD尾气出气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223268751U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422097909.5，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种CVD尾气出气装置是由杨泰生;王良均;李玥设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD尾气出气装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种CVD尾气出气装置，其包括第一腔室和第二腔室，所述第一腔室位于所述第二腔室上方，所述第一腔室和所述第二腔室通过保温层隔开，所述保温层设置有导气通道，所述导气通道连通所述第一腔室和第二腔室；所述第一腔室的顶板上设置有进气口，所述第二腔室的底板上设置有出气导管；所述第一腔室和所述第二腔室内均设置有多个石墨板，所述石墨板上设置有若干个通孔；所述第一腔室内的多个石墨板在竖直方向上间隔设置，所述第二腔室内的多个石墨板在竖直方向上间隔设置。本实用新型能够减缓尾气流速，提高反应腔内沉积压力稳定性，提高副产物在本装置的沉积效率，降低副产物在真空管道、过滤装置及真空泵内的沉积。
本实用新型一种CVD尾气出气装置在权利要求书中公布了：1.一种CVD尾气出气装置，其特征在于，包括第一腔室100和第二腔室200，所述第一腔室100位于所述第二腔室200上方，所述第一腔室100和所述第二腔室200通过保温层201隔开，所述保温层201设置有导气通道202，所述导气通道202连通所述第一腔室100和第二腔室200； 所述第一腔室100的顶板101上设置有进气口102，所述第二腔室200的底板204上设置有出气导管300；所述第一腔室100和所述第二腔室200内均设置有多个石墨板104，所述石墨板104上设置有若干个通孔105；所述第一腔室100内的多个石墨板104在竖直方向上间隔设置，所述第二腔室200内的多个石墨板104在竖直方向上间隔设置。
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