苏州方昇光电股份有限公司杜传学获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州方昇光电股份有限公司申请的专利一种线性加热源坩埚及沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223268736U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422101339.2，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种线性加热源坩埚及沉积装置是由杜传学;金政泽设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种线性加热源坩埚及沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种线性加热源坩埚及沉积装置，包括：坩埚本体和喷射组件，坩埚本体的横截面为扁平花生型；喷射组件包括喷板和两个隔板，两个隔板沿坩埚本体的轴向等距设置在坩埚本体内部，两个隔板将坩埚本体分隔成三个材料填充区；喷板设置在坩埚本体的顶部，喷板的表面设置有若干个喷嘴，若干个喷嘴均布在喷板上，且若干个喷嘴的分布面与坩埚本体的横截面相同。本实用新型坩中埚本体的横截面为扁平花生型，扁平花生型结构使LCR三侧的膜厚分布相对比较均匀，蒸镀到基板上面的量相差很小，消耗量一致，保证LCR三侧膜厚基本一致，不会出现膜厚相差很大的情况，从而可以改善镀膜的均匀性，提高了材料利用率。
本实用新型一种线性加热源坩埚及沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种线性加热源坩埚，其特征在于，包括： 坩埚本体，所述坩埚本体的横截面为扁平花生型； 喷射组件，所述喷射组件包括喷板和两个隔板，两个所述隔板沿所述坩埚本体的轴向等距设置在所述坩埚本体内部，两个所述隔板将所述坩埚本体分隔成三个材料填充区；所述喷板设置在所述坩埚本体的顶部，所述喷板的表面设置有若干个喷嘴，若干个所述喷嘴均布在所述喷板上，且若干个所述喷嘴的分布面与所述坩埚本体的横截面相同。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州方昇光电股份有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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