安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司王家奇获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司申请的专利一种改进型半导体气体喷淋头获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223264024U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422109975.X,技术领域涉及:B05B1/00;该实用新型一种改进型半导体气体喷淋头是由王家奇;孙晓东;顾勇;屈长明;曾雯欣;李琴;蔡爱玲;陈占开;郭铁设计研发完成,并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改进型半导体气体喷淋头在说明书摘要公布了:本实用新型涉及气体喷淋技术领域,具体涉及一种改进型半导体气体喷淋头,应用于气体喷淋设备,包括筒体,所述筒体的一端固设有内底盘,所述筒体的另一端固设有环形外沿,所述内底盘的内部设有多个孔道,每个所述孔道均倾斜设置,每个所述孔道的两端均设有进气口和出气口,每个所述进气口均与所述内底盘的顶面连通,每个所述出气口均与所述内底盘的底面连通,所述筒体的内壁直径与所述环形外沿的内壁直径相同,所述筒体用于安装在所述气体喷淋设备的喷淋管上,显著提高了气体喷淋的均匀性和精度,增强了喷淋头的耐用性,降低了制造成本和维护难度,为半导体制造行业提供了一种高效、经济的解决方案。
本实用新型一种改进型半导体气体喷淋头在权利要求书中公布了:1.一种改进型半导体气体喷淋头,应用于气体喷淋设备,其特征在于,包括筒体3,所述筒体3的一端固设有内底盘1,所述筒体3的另一端固设有环形外沿2,所述内底盘的内部设有多个孔道4,每个所述孔道4均倾斜设置,每个所述孔道4的两端均设有进气口5和出气口6,每个所述进气口5均与所述内底盘1的顶面连通,每个所述出气口6均与所述内底盘1的底面连通,所述筒体3的内壁直径与所述环形外沿2的内壁直径相同,所述筒体3用于安装在所述气体喷淋设备的喷淋管上。
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