福建金石能源有限公司赖礼铭获国家专利权
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龙图腾网获悉福建金石能源有限公司申请的专利一种补偿子载板变形的PVD载板机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223268741U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422144442.5,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种补偿子载板变形的PVD载板机构是由赖礼铭;黄志斌;余清设计研发完成,并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种补偿子载板变形的PVD载板机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及光伏设备领域,公开了一种补偿子载板变形的PVD载板机构,包括外框架、若干载板安装座和若干硅片子载板。载板安装座固定于外框架上。硅片子载板一一对应地设置于载板安装座上。载板安装座中间设置有补偿支撑杆,补偿支撑杆的上表面高于载板安装座的四周高度。外框架的两侧设置有用于将硅片子载板向两侧拉紧的调节拉紧机构。本实用新型通过在载板安装座的中间位置设置向上凸起的补偿支撑杆,利用预先反作用原理来抵消子载板自身重力的下垂变形,同时在外框架的两侧设置调节拉紧机构,可纠正减少变形量,从而减少硅片从载板中脱离及破碎的概率。同时还能延长硅片子载板的使用寿命,纠正轻微变形的硅片子载板。
本实用新型一种补偿子载板变形的PVD载板机构在权利要求书中公布了:1.一种补偿子载板变形的PVD载板机构,其特征在于:包括外框架、若干载板安装座和若干硅片子载板;所述载板安装座固定于外框架上;硅片子载板一一对应地设置于载板安装座上;所述载板安装座中间设置有补偿支撑杆,所述补偿支撑杆的上表面高于载板安装座的四周高度;所述外框架的两侧设置有用于将硅片子载板向两侧拉紧的调节拉紧机构; 所述调节拉紧机构包括调节螺母、调节螺栓和拉紧连接块;所述拉紧连接块与硅片子载板固定连接,调节螺栓可自由转动地与拉紧连接块连接,调节螺栓与调节螺母螺纹连接,调节螺母固定在外框架上。
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