艾克尔司(嘉善)科技有限公司颜鸿任获国家专利权
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龙图腾网获悉艾克尔司(嘉善)科技有限公司申请的专利一种用于检测晶圆边缘缺口的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223272397U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422205549.6，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型一种用于检测晶圆边缘缺口的装置是由颜鸿任;周楠设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于检测晶圆边缘缺口的装置在说明书摘要公布了：一种用于检测晶圆边缘缺口的装置，其包括一个打光组件，以及一个取相组件，所述打光组件包括一个环形底座，一个环形滑轨，一个设背光模组，一个晶圆台，以及一个发光体。本用于检测晶圆边侧缺口的装置通过设置所述背光模组，并设置一个环形滑轨，所述环形滑轨上滑动设置有一个发光体，从而可以根据不同的晶圆来调节所述发光体最佳照射角度和高度，无需使用多组发光体，减少了成本且减少了占用空间，所述背光模组能够反射所述发光体的光线，进一步节省了对发光体数量的需求。
本实用新型一种用于检测晶圆边缘缺口的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于检测晶圆边缘缺口的装置，其特征在于：所述用于检测晶圆边缘缺口的装置包括一个打光组件，以及一个设置在所述打光组件一侧的取相组件，所述打光组件包括一个环形底座，一个设置在所述环形底座顶部的环形滑轨，一个设置在所述环形底座中间的背光模组，一个设置在所述背光模组顶部的晶圆台，以及一个滑动设置在所述环形滑轨上的发光体，所述环形滑轨和所述环形底座同心，所述取相组件包括一个弧形杆，一个设置在所述弧形杆一侧的弧形滑轨，以及一个滑动设置在所述弧形滑轨上的摄像头组件，所述摄像头组件的拍摄方向朝向所述弧形滑轨的圆心，所述晶圆台的顶部放置有一个晶圆，所述摄像头组件的拍摄范围位于晶圆的边缘。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人艾克尔司(嘉善)科技有限公司，其通讯地址为：314100 浙江省嘉兴市嘉善县魏塘街道嘉魏路9号1号办公楼二层东侧第一间；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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