互创(无锡)新材料有限公司金辉哲获国家专利权
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龙图腾网获悉互创(无锡)新材料有限公司申请的专利一种半导体静电吸盘结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273255U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422334192.1，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种半导体静电吸盘结构是由金辉哲;肖明设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体静电吸盘结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体静电吸盘结构，其包括：真空吸盘，真空吸盘中间段设置有底端静电发生块，底端静电发生块外端转动连接有转动清扫环，转动清扫环上端固定连接有灰尘清扫板，灰尘清扫板与真空吸盘卡合，真空吸盘外端固定连接有边缘密封带；连接固定环，连接固定环为两段结构，连接固定环之间设置有密封连接块，密封连接块之间螺纹连接有第二固定螺栓，连接固定环之间固定连接有防滑抓手。通过在固定连接保护柱的外端设置双层结构的连接固定环与防滑抓手，方便吸盘结构的抓取与更换，提高真空吸盘结构的使用效率。通过在底端静电发生块外端设置转动清扫环结构，带动灰尘清扫板转动，将灰尘集中在相应位置，方便对真空吸盘进行清洁。
本实用新型一种半导体静电吸盘结构在权利要求书中公布了：1.一种半导体静电吸盘结构，其特征在于，包括： 真空吸盘1，所述真空吸盘1中间段设置有底端静电发生块14，所述底端静电发生块14外端转动连接有转动清扫环15，所述转动清扫环15上端固定连接有灰尘清扫板16，所述灰尘清扫板16与真空吸盘1卡合，所述真空吸盘1外端固定连接有边缘密封带2； 连接固定环5，所述连接固定环5为两段结构，所述连接固定环5之间设置有密封连接块12，所述密封连接块12之间螺纹连接有第二固定螺栓13，所述连接固定环5之间固定连接有防滑抓手6。
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