安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司李琴获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司申请的专利一种适用于PECVD的气体喷淋头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223268759U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422389892.0，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型一种适用于PECVD的气体喷淋头是由李琴;孙晓东;顾勇;屈长明;王家奇;曾雯欣;蔡爱玲;陈占开;郭铁设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于PECVD的气体喷淋头在说明书摘要公布了：本实用新型涉及气体喷淋设备技术领域，具体涉及一种适用于PECVD的气体喷淋头，为解决现有技术气体流速不均匀、制备效率低的问题。该气体喷淋头包括围管，管状结构；气体喷淋板，设置在所述围管的下端，其上设有若干出气孔，所述出气孔的纵向剖面为中间细两端粗的腰鼓状；所述围管远离所述气体喷淋板的一端与通气管连接，所述围管的内部上下两端之间的空间构成一个气体容纳腔；所述通气管向所述气体容纳腔内输入需要的气体，气体通过出气孔向外均匀扩散。
本实用新型一种适用于PECVD的气体喷淋头在权利要求书中公布了：1.一种适用于PECVD的气体喷淋头，其特征在于，包括 围管14，管状结构； 气体喷淋板11，设置在所述围管14的下端，其上设有若干出气孔111，所述出气孔111的纵向剖面为中间细两端粗的腰鼓状； 所述围管14远离所述气体喷淋板11的一端与通气管连接，所述围管14的内部上下两端之间的空间构成一个气体容纳腔12； 所述通气管向所述气体容纳腔12内输入需要的气体，气体通过出气孔111向外均匀扩散。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司，其通讯地址为：242000 安徽省宣城市宣城经济技术开发区清流路99号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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