中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司曾虹钧获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利腔室泄露检测装置及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273226U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422568897.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型腔室泄露检测装置及半导体加工设备是由曾虹钧设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本腔室泄露检测装置及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种腔室泄露检测装置及半导体加工设备。该腔室泄露检测装置包括：第一三通阀和气体传感器；第一三通阀包括内管和外管，内管套设在外管中；外管的一端为盲端，另一端为开口端，内管的两端均为开口端；内管的一端穿出外管的盲端形成第一连接端，内管的另一端与外管的开口端形成第二连接端；第一连接端用于与待检测腔室连通，第二连接端与气体传感器连通；外管上设置有抽气口，抽气口用于与抽气装置连通。通过该装置可以对待检测腔室中的气体进行检测，可以有效确保待检测腔室的密封性，确保半导体加工设备的真空度满足工艺要求，有助于提高生产良率。
本实用新型腔室泄露检测装置及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种腔室泄露检测装置，其特征在于，包括：第一三通阀和气体传感器； 所述第一三通阀包括内管和外管，所述内管套设在所述外管中； 所述外管的一端为盲端，另一端为开口端，所述内管的两端均为开口端； 所述内管的一端穿出所述外管的盲端形成第一连接端，所述内管的另一端与所述外管的开口端形成第二连接端； 所述第一连接端用于与待检测腔室连通，所述第二连接端与所述气体传感器连通； 所述外管上设置有抽气口，所述抽气口用于与抽气装置连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路18号3号楼5楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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