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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种波纹管组件及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119433508B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411516201.7，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种波纹管组件及半导体工艺设备是由陈平;李新龙;刘文;柯栋方设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种波纹管组件及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种波纹管组件及半导体工艺设备，其中，波纹管组件适用于包括腔室主体和提升机构的半导体工艺设备，其包括波纹管本体和吹扫组件，波纹管本体包括第一连接端和第二连接端，第一连接端密封连接腔室主体，第二连接端密封连接于提升机构的升降台，以使波纹管本体能够在提升机构的驱动下伸缩；吹扫组件与波纹管本体的内腔连通以向波纹管本体的内腔中吹气，用于阻止反应腔中的工艺颗粒进入波纹管本体的内腔；如此，基座的底部和波纹管本体的内壁将不会产生工艺副产物的残留和积累，进而无需在基座升降后，对工艺腔室进行清洁，可有效提高半导体工艺设备的生产效率。

本发明授权一种波纹管组件及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种波纹管组件，其特征在于，适用于包括腔室主体和提升机构的半导体工艺设备，所述波纹管组件包括： 波纹管本体，包括第一连接端和第二连接端，所述第一连接端密封连接所述腔室主体，所述第二连接端密封连接于所述提升机构的升降台，以使所述波纹管本体能够在所述提升机构的驱动下伸缩；所述第一连接端和所述腔室主体通过上法兰连接；所述波纹管本体包括轴向分布的第一管段和第二管段，且所述第一管段和所述第二管段通过中法兰连接； 吹扫组件，与所述波纹管本体的内腔连通以向所述波纹管本体的内腔中吹气，用于阻止所述腔室主体的内腔中的工艺颗粒进入所述波纹管本体的内腔； 导向结构，连接所述上法兰和所述中法兰，以使所述中法兰沿所述波纹管本体的轴向移动；所述导向结构包括设置在所述上法兰和所述中法兰中一者上的导向套，以及设置在另一者上的导向杆，所述导向套和所述导向杆均位于所述上法兰和所述中法兰的内腔外侧，并均沿所述波纹管本体的轴向设置；所述导向杆伸入到所述导向套中，并与所述导向套滑动配合；所述导向杆为长度能够改变的伸缩杆，以能够调整所述上法兰和所述中法兰在波纹管组件的极限压缩状态下的距离，且所述中法兰上或者所述中法兰与所述上法兰之间设置有用于向所述波纹管本体的内腔中导入吹扫气流的通道。

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