佛山市海光智能科技有限公司徐丰获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山市海光智能科技有限公司申请的专利一种密封性好的MPCVD腔体结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223268766U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422657573.3,技术领域涉及:C23C16/511;该实用新型一种密封性好的MPCVD腔体结构是由徐丰;周健泉设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种密封性好的MPCVD腔体结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种密封性好的MPCVD腔体结构,包括上盖和容器,所述上盖盖合于所述容器的顶端,所述上盖和所述容器之间形成反应腔室;所述容器的顶端设有第一环形密封槽和第二环形密封槽,所述第一环形密封槽和第二环形密封槽内均安装有密封圈;所述容器的内部设有第一水冷腔,所述容器设有与所述第一水冷腔相连通的第一进水口和第一出水口。本实用新型使得冷却液通过第一进水口进入第一水冷腔,并从第一出水口流出来带走容器的热量,以对容器顶端的第一环形密封槽和第二环形密封槽进行降温,避免密封圈处于高温环境而容易老化,从而提高装置密封的稳定性。
本实用新型一种密封性好的MPCVD腔体结构在权利要求书中公布了:1.一种密封性好的MPCVD腔体结构,其特征在于,包括上盖1和容器2,所述上盖1盖合于所述容器2的顶端,所述上盖1和所述容器2之间形成反应腔室; 所述容器2的顶端设有第一环形密封槽21和第二环形密封槽22,所述第一环形密封槽21和第二环形密封槽22内均安装有密封圈23; 所述容器2的内部设有第一水冷腔3,所述容器2设有与所述第一水冷腔3相连通的第一进水口31和第一出水口32。
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