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龙图腾网获悉亿芯微半导体科技(深圳)有限公司申请的专利一种晶圆切割保护液及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119776064B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411972288.9，技术领域涉及：C10M173/02；该发明授权一种晶圆切割保护液及其制备方法是由周永强;刘伯阳;王家清;罗旺宝;张仁福设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆切割保护液及其制备方法在说明书摘要公布了：一种晶圆切割保护液及其制备方法，其中晶圆切割保原料含有改性水溶性树脂、有机溶剂、润湿剂、pH调节剂、紫外线吸收剂和水。所述改性水溶性树脂由乙酸乙烯酯、乙基‑3‑1‑吡咯烷基丙烯酸乙酯和3,3‑二甲基丙烯酸甲酯通过自由基聚合反应得到共聚物，然后将共聚物醇解后得到改性聚乙烯醇。本发明的有益效果如下：本发明通过使用由乙酸乙烯酯、乙基‑3‑1‑吡咯烷基丙烯酸乙酯和3,3‑二甲基丙烯酸甲酯共聚物构成的改性水溶性树脂，能在晶圆表面快速形成保护膜，同时使用纯水即可将所述晶圆切割保护液形成的保护膜层完全去除。本发明的晶圆切割保护液能够在晶圆激光切割时切割线笔直无崩边现象，而且还可以有效避免烧结产生。

本发明授权一种晶圆切割保护液及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆切割保护液，其特征在于：原料含有改性水溶性树脂、有机溶剂、润湿剂、pH调节剂、紫外线吸收剂和水； 所述改性水溶性树脂由乙酸乙烯酯、乙基-3-（1-吡咯烷基）丙烯酸乙酯和3,3-二甲基丙烯酸甲酯通过自由基聚合反应得到共聚物，然后将共聚物醇解后得到改性聚乙烯醇； 以重量份计， 改性水溶性树脂：30份～50份； 有机溶剂：10份～20份； 润湿剂：1份～3份； pH调节剂：0.5份～2份； 紫外线吸收剂：1份～5份； 余量为水，全部组分的总量按100份计； 在所述改性水溶性树脂中，以重量份计， 乙酸乙烯酯：30份～50份； 乙基-3-（1-吡咯烷基）丙烯酸乙酯：5份～10份； 3,3-二甲基丙烯酸甲酯：3份～8份； 甲醇Ⅰ：50份～80份； 甲醇Ⅱ：20份～50份； 甲醇Ⅲ：100份～200份； NaOH甲醇溶液：100份～150份； 引发剂：0.1份～1份； 所述改性水溶性树脂由如下步骤制备： S1、在氮气保护下加入3,3-二甲基丙烯酸甲酯和乙基-3-（1-吡咯烷基）丙烯酸乙酯，控制温度为50℃～60℃，得到混合液； S2、将乙酸乙烯酯加入甲醇Ⅰ中，温度控制在0℃～5℃，得到溶液Ⅰ；将引发剂加入甲醇Ⅱ中，温度控制在0℃～5℃，得到溶液Ⅱ； S3、将S1得到的混合液控制温度在50℃～60℃范围内，然后同时向混合液中加入溶液Ⅰ和溶液Ⅱ，且溶液Ⅰ和溶液Ⅱ的加入时间相同，均为30min～60min，进入S4； S4、继续反应5h～8h得到乙酸乙烯酯、乙基-3-（1-吡咯烷基）丙烯酸乙酯和3,3-二甲基丙烯酸甲酯的共聚物，在温度为30℃～60℃，压力为1.5kPa至3.0kPa下蒸馏2h～3h，进入S5； S5、将S4得的共聚物溶于甲醇Ⅲ，加入浓度为10%gL-20%gL的NaOH甲醇溶液，在温度为40℃～60℃下醇解2h～3h得到改性水溶性树脂。

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