信联电子材料科技股份有限公司冯亚楠获国家专利权
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龙图腾网获悉信联电子材料科技股份有限公司申请的专利一种抗反射涂料组合物及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120209657B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510659485.3,技术领域涉及:C09D133/10;该发明授权一种抗反射涂料组合物及其制备方法和应用是由冯亚楠;尹丰丰;贾成林;邵天成;孙巧云;白雪巧;王玉彬;吴双双设计研发完成,并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抗反射涂料组合物及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明涉及光刻技术领域,提出了一种抗反射涂料组合物及其制备方法和应用。一种抗反射涂料组合物,原料包括以下重量份的组分:消光树脂14~20份、催化剂1~4份、交联剂2~8份、溶剂400~1300份;催化剂包括对甲苯磺酸和有机酸A;有机酸A的分子结构中含有醚键;有机酸A包括乙氧基乙酸、苯氧乙酸、2‑萘氧乙酸中的一种。通过上述技术方案,解决了相关技术中的BARC膜的膜厚均匀性差的问题。
本发明授权一种抗反射涂料组合物及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种抗反射涂料组合物,其特征在于,原料包括以下重量份的组分:消光树脂14~20份、催化剂1~4份、交联剂2~8份、溶剂400~1300份; 所述催化剂包括对甲苯磺酸和有机酸A; 所述有机酸A的分子结构中含有醚键; 所述有机酸A包括乙氧基乙酸、苯氧乙酸、2-萘氧乙酸中的一种。
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