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龙图腾网获悉昆山晟成光电科技有限公司申请的专利一种动态自适应蒸镀系统及蒸镀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120291025B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510753384.2，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种动态自适应蒸镀系统及蒸镀方法是由李帅;杨星;王强;姜宇康;周文彬;祖国良设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种动态自适应蒸镀系统及蒸镀方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种动态自适应蒸镀系统及蒸镀方法，蒸镀系统包括真空腔体、蒸发源与基片载板，真空腔体包括由下至上依次连通的蒸发区、过渡区与沉积区，蒸发区与过渡区之间设有第一隔板，第一隔板的中心通气并设有第一隔断装置，过渡区与沉积区之间设有第二隔板，第二隔板的中心通气并设有第二隔断装置，蒸发区的中部设有蒸发源，过渡区外围环绕布置有冷却腔，冷却腔内设有冷凝环与深冷阱，沉积区的上部中心设有基片载板。蒸镀方法步骤包括建立动态压力分层真空环境、预热和蒸镀。本蒸镀系统能够动态压力分层腔体采用带电微孔阵列的电磁屏障，通过压力梯度设计，实时隔离和调控蒸发物质和副产物，压力波动低，镀膜均匀性高，材料利用率高。

本发明授权一种动态自适应蒸镀系统及蒸镀方法在权利要求书中公布了：1.一种动态自适应蒸镀系统，其特征在于：包括真空腔体、蒸发源与基片载板，所述真空腔体包括由下至上依次连通的蒸发区、过渡区与沉积区，所述蒸发区与所述过渡区之间设有第一隔板，所述第一隔板的中心通气并设有第一隔断装置，所述过渡区与所述沉积区之间设有第二隔板，所述第二隔板的中心通气并设有第二隔断装置，所述蒸发区的中部设有蒸发源，所述过渡区外围环绕布置有冷却腔，所述冷却腔内设有为所述过渡区降温的冷凝环与为所述沉积区降温的深冷阱，所述沉积区的上部中心设有基片载板，所述蒸发区的侧壁设有连接第一抽气泵的第一抽气口，所述过渡区的侧壁设有连接第二抽气泵的第二抽气口，所述沉积区的侧壁设有连接第三抽气泵的第三抽气口，所述第一抽气泵、所述第二抽气泵与所述第三抽气泵的吸力依次增加；所述第一隔断装置与所述第二隔断装置都为电磁屏障，所述电磁屏障由厚度2~5mm的多孔钼基板制成，所述多孔钼基板上分布有直径0.1~1mm的微孔阵列，孔隙率为20%~80%。

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