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龙图腾网获悉北京精恒工控科技有限公司申请的专利一种用于石英晶体的激光双面刻蚀的刻蚀速率调控方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120244270B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510748224.9，技术领域涉及：B23K26/362；该发明授权一种用于石英晶体的激光双面刻蚀的刻蚀速率调控方法及系统是由廖占武;汪林亮设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于石英晶体的激光双面刻蚀的刻蚀速率调控方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及激光双面刻蚀技术领域，公开了一种用于石英晶体的激光双面刻蚀的刻蚀速率调控方法及系统，该系统包括：速率确定单元，被配置为基于解析结果确定激光双面刻蚀的初始刻蚀速率；判断单元，被配置为采集待刻蚀石英晶体的实时刻蚀图像数据，并根据实时刻蚀图像数据判断是否对初始刻蚀速率进行调整；速率调整单元，被配置为基于角度数据和环境数据确定初始刻蚀速率的调整系数，并获得最终刻蚀速率；执行单元，被配置为以最终刻蚀速率对待刻蚀石英晶体进行激光双面刻蚀。本发明通过精确调控激光双面刻蚀的速率，提高了石英晶体的加工精度和效率。

本发明授权一种用于石英晶体的激光双面刻蚀的刻蚀速率调控方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于石英晶体的激光双面刻蚀的刻蚀速率调控系统，其特征在于，包括： 速率确定单元，被配置为采集待刻蚀石英晶体的石英晶体特性数据和激光双面刻蚀的目标数据，并对所述石英晶体特性数据和目标数据进行解析，基于解析结果确定激光双面刻蚀的初始刻蚀速率； 判断单元，被配置为以所述初始刻蚀速率对所述待刻蚀石英晶体进行激光双面刻蚀，采集所述待刻蚀石英晶体的实时刻蚀图像数据，并根据所述实时刻蚀图像数据判断是否对所述初始刻蚀速率进行调整； 速率调整单元，被配置为当判定对所述初始刻蚀速率进行调整时，采集激光双面刻蚀的角度数据和环境数据，基于所述角度数据和环境数据确定所述初始刻蚀速率的调整系数，并获得最终刻蚀速率； 执行单元，被配置为以所述最终刻蚀速率对所述待刻蚀石英晶体进行激光双面刻蚀； 所述速率确定单元对所述石英晶体特性数据和目标数据进行解析，基于解析结果确定激光双面刻蚀的初始刻蚀速率时，包括： 所述石英晶体特性数据包括所述待刻蚀石英晶体的晶面指数、表面粗糙度和晶体吸收率； 所述目标数据包括刻蚀深度和刻蚀精度； 根据所述晶面指数和表面粗糙度确定激光双面刻蚀的基本刻蚀速率； 根据所述晶体吸收率判断是否对所述基本刻蚀速率进行修正； 当判定对所述基本刻蚀速率进行修正时，根据所述晶体吸收率、刻蚀深度和刻蚀精度构建初始向量组，根据所述初始向量组确定所述基本刻蚀速率的修正系数，并获得所述初始刻蚀速率； 所述速率确定单元根据所述初始向量组确定所述基本刻蚀速率的修正系数，并获得所述初始刻蚀速率时，包括： 将所述初始向量组与历史修正组进行比对，根据比对结果确定所述基本刻蚀速率的修正系数； 当所述历史修正组中存在与所述初始向量组相同的历史向量组时，将所述历史向量组对应的历史修正系数作为所述修正系数，并将所述历史修正系数与所述基本刻蚀速率的乘积值作为所述初始刻蚀速率； 当所述历史修正组中不存在与所述初始向量组相同的历史向量组时，计算当前所述初始向量组与每一个历史向量组的联系强度，并提取最大联系强度；根据所述最大联系强度确定所述基本刻蚀速率的修正系数，并将所述修正系数与所述基本刻蚀速率的乘积值作为所述初始刻蚀速率； 所述速率确定单元根据所述最大联系强度确定所述基本刻蚀速率的修正系数时，包括： 当所述最大联系强度对应的历史向量组唯一时，将所述最大联系强度对应的历史向量组对应的历史修正系数作为所述修正系数； 当所述最大联系强度对应的历史向量组不唯一时，根据所述最大联系强度对应的多个历史向量组计算平均修正系数，并将所述平均修正系数作为所述修正系数。

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