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龙图腾网获悉北京中航科电测控技术股份有限公司申请的专利一种半导体腔体高精密抛光机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120307146B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510806190.4，技术领域涉及：B24B21/00；该发明授权一种半导体腔体高精密抛光机是由金维国;金俊设计研发完成，并于2025-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体腔体高精密抛光机在说明书摘要公布了：本发明属于半导体加工技术领域，具体地涉及一种半导体腔体高精密抛光机，其包括导轨座、电机、轴套、支板、传动筒和打磨组件固定连接；所述打磨组件包括支架、保护壳、壳体、收线盒、拼合打磨带、支撑辊和调节辊。本发明通过调节辊拉拽拼合打磨带，拼合打磨带带动支撑辊上的滑辊二沿着滑槽一滑动，减小打磨组件体积，使打磨组件能够轻易伸入小口径的腔体内，增大打磨组件的操作空间，降低打磨组件对腔体磕碰的概率。本发明在缩小打磨组件体积的同时，将粗粒打磨带切换至细粒打磨带，通过粗粒打磨带对小口径腔体抛光可确保抛光精度，避免小口径腔体表面粗糙度过高，导致高精度器件的精度降低。

本发明授权一种半导体腔体高精密抛光机在权利要求书中公布了：1.一种半导体腔体高精密抛光机，其特征在于：包括导轨座（1），导轨座（1）与工作台上的导轨连接，导轨座（1）上安装电机，电机输出端固定连接轴套（3），导轨座（1）上安装支板（2），支板（2）上转动安装传动筒（5），传动筒（5）与打磨组件（6）固定连接，所述轴套（3）与传动轴（4）通过滑块滑槽传动连接，传动轴（4）另一端与传动筒（5）传动连接； 所述打磨组件（6）包括支架（601）以及分别安装在支架（601）两端的保护壳（603）和壳体（604），保护壳（603）内安装收线盒（605），所述支架（601）内安装拼合打磨带（602），支架（601）内分别滑动安装若干支撑辊（612）和调节辊（613），拼合打磨带（602）依次穿过支撑辊（612）和调节辊（613）安装，所述调节辊（613）上安装滑辊一（615），滑辊一（615）上套设套管（616），套管（616）通过绳索（617）与收线盒（605）内部的收线辊连接，收线盒（605）内部收线辊与传动套（606）同轴连接，通过推动传动轴（4），使传动轴（4）与传动套（606）传动连接； 所述支架（601）上分别开设滑槽一（609）和滑槽二（610），支撑辊（612）通过滑辊二（620）与滑槽一（609）滑动连接，所述滑槽一（609）内安装压簧（621），压簧（621）与滑辊二（620）连接，所述调节辊（613）通过滑辊一（615）与滑槽二（610）滑动连接； 所述滑槽二（610）内开设有外槽（611），外槽（611）内置齿条（619），滑辊一（615）上安装齿环（618），齿环（618）与齿条（619）传动连接，所述拼合打磨带（602）由粗粒打磨带（6021）和细粒打磨带（6022）组成； 所述传动套（606）内安装电磁吸盘一（607），传动轴（4）上安装磁性金属块（608），电磁吸盘一（607）吸附磁性金属块（608）；当电磁吸盘一（607）通电后，电磁吸盘一（607）吸附磁性金属块（608），使传动轴（4）向传动套（606）内移动，此时传动轴（4）与传动套（606）传动连接；当电磁吸盘一（607）断电后，传动轴（4）复位，使传动轴（4）重新与传动筒（5）传动连接。

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