信联电子材料科技股份有限公司尹丰丰获国家专利权
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龙图腾网获悉信联电子材料科技股份有限公司申请的专利一种涂覆抗反射涂层的折射率测量方法及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120334175B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510829427.0,技术领域涉及:G01N21/41;该发明授权一种涂覆抗反射涂层的折射率测量方法及设备是由尹丰丰;邵天成;张瑞起;冯亚楠;张炳庆;苑征瑞;孙巧云;刘向东;白雪巧;刘傲设计研发完成,并于2025-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂覆抗反射涂层的折射率测量方法及设备在说明书摘要公布了:本申请涉及折射率测量技术领域,具体涉及一种涂覆抗反射涂层的折射率测量方法及设备,该方法包括:获取各时刻的反射光谱强度序列、三维数据体矩阵、温度、湿度;根据当前时刻的反射光谱强度序列的频谱序列的功率谱密度,和三维数据体矩阵的梯度特征获取当前时刻的结构失配度;根据各时刻的结构失配度、温度和湿度,获取当前时刻的结构失配度的预测值,并根据结构失配度预测值的最大值和复杂程度,获取当前时刻的折射率扰动指数;判断当前时刻的折射率测量值的偏差情况,利用当前时刻的折射率扰动指数对当前时刻的折射率测量值进行修正。本申请通过量化各时刻的折射率偏差程度,对各时刻的折射率进行修正,提高了折射率测量的准确性。
本发明授权一种涂覆抗反射涂层的折射率测量方法及设备在权利要求书中公布了:1.一种涂覆抗反射涂层的折射率测量方法,其特征在于,该方法包括以下步骤: 获取抗反射涂层在各时刻的反射光谱强度数据、温度、湿度,以及横向、纵向和深度方向的折射率数据;将各时刻之前的预设时间段作为各时刻的监测时段;根据各时刻的监测时段内的反射光谱强度数据获取各时刻的反射光谱强度序列;根据各时刻的监测时段内三个方向的折射率数据获取各时刻的三维数据体矩阵; 根据当前时刻的反射光谱强度序列的频谱序列的功率谱密度,以及三维数据体矩阵在每一行的一阶导数获取当前时刻的结构失配度;根据当前时刻的监测时段内各时刻的结构失配度、温度、湿度,获取当前时刻的未来预设时间长度内各时刻的结构失配度的预测值;根据当前时刻的未来预设时间长度内的所有结构失配度预测值的最大值和复杂程度,获取当前时刻的折射率扰动指数; 获取抗反射涂层在当前时刻各方向的折射率测量值,判断当前时刻各方向的折射率测量值的偏差情况,并利用当前时刻的折射率扰动指数对当前时刻各方向的折射率测量值进行修正。
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