江苏神州半导体科技有限公司潘小刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利一种远程等离子源腔体氧化膜稳定性提升方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120376394B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510837238.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种远程等离子源腔体氧化膜稳定性提升方法是由潘小刚;顾小军;金玉亮;朱国俊设计研发完成，并于2025-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种远程等离子源腔体氧化膜稳定性提升方法在说明书摘要公布了：本发明属于远程等离子体源技术领域，提供了一种远程等离子源腔体氧化膜稳定性提升方法，包括：将经过表面预处理的铝材进行高温水蒸气封孔处理；切削加工去除表面的水铝石层；对解离腔体进行混合气体钝化并循环预设次数，混合气体钝化包括预钝化、水合钝化和协同钝化。本发明首先对氧化层进行高温水蒸气封孔，然后对表面水铝石层进行切削，增加表面活性位点数量利于OH键吸附；之后进行预钝化、水合钝化和协同钝化并循环预设次数，保证OH键的稳定性，提升RPS腔体的使用寿命；利用随机森林算法确定混合气体比例，通过影响氧化膜层表面OH键覆盖密度，降低RPS功率运行窗口下限，满足FCVD工艺的沉积速率需求。
本发明授权一种远程等离子源腔体氧化膜稳定性提升方法在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子源腔体氧化膜稳定性提升方法，其特征在于，包括： S1.将经过表面预处理的铝材进行高温水蒸气封孔处理，消耗原有氧化膜生成水铝石层； S2.将S1所得制品进行切削加工，去除表面的水铝石层； S3.将S2所得制品组装形成解离腔体，进行混合气体钝化并循环预设次数，之后进行冷却、干燥；所述混合气体钝化包括依次进行的预钝化、水合钝化和协同钝化， 所述预钝化为：远程等离子体源开启，通入点火气体和氧气，形成初始氧化层； 所述水合钝化为：远程等离子体源关闭，通入水蒸气进行水合处理，在初始氧化层表面生成OH键； 所述协同钝化为：远程等离子体源开启，同时通入点火气体、辅助催化气体和氢气，点火气体和辅助催化气体吹扫弱化的OH键，氢气和残留氧原子生成OH键。
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