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龙图腾网获悉辽宁嘉顺科技有限公司申请的专利一种氧化镁单晶靶材制备表面检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120388014B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510857348.0，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种氧化镁单晶靶材制备表面检测方法是由高斌;王继奇;倪晶;赵恩猛;史锐;许勇;卞天赐;史轩赫;庞善文设计研发完成，并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氧化镁单晶靶材制备表面检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及靶材表面检测领域，具体是一种氧化镁单晶靶材制备表面检测方法，该方法通过获取每个检测子区域的表面形貌图像并同步采集对应检测子区域的成分谱数据；对成分谱数据去除连续背景噪声并提取特征X射线峰强度并记为成分参数；从表面形貌图像中提取形貌参数，所述形貌参数与所述成分参数进行空间配准得到形貌‑成分融合特征向量；将所述形貌‑成分融合特征向量与预设的污染颗粒特征库、微凸起特征库进行比对分析得到相似性概率，根据相似性概率得到检测子区域的缺陷类型判别结果；将判别结果映射至靶材表面的三维坐标，标记污染颗粒与微凸起的位置及置信度并生成检测报告；有效提高对氧化镁单晶靶材表面缺陷检测的准确性和全面性。

本发明授权一种氧化镁单晶靶材制备表面检测方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化镁单晶靶材制备表面检测方法，其特征在于，所述方法包括： 将靶材表面划分为多个检测子区域，并确定各检测子区域的优先级扫描顺序；通过扫描电子显微镜获取每个检测子区域的表面形貌图像，并同步通过能量色散X射线光谱仪采集对应检测子区域的成分谱数据； 对所述成分谱数据进行多帧叠加处理后，通过非线性最小二乘法拟合去除连续背景噪声并提取特征X射线峰强度并记为成分参数；从所述表面形貌图像中提取形貌参数，所述形貌参数与所述成分参数进行空间配准得到形貌-成分融合特征向量；所述形貌参数包括微区高度梯度、局部表面曲率半径及边缘锐度参数； 将所述形貌-成分融合特征向量与预设的污染颗粒特征库、微凸起特征库进行比对分析得到相似性概率，根据所述相似性概率得到检测子区域的缺陷类型判别结果； 将所述判别结果映射至靶材表面的三维坐标，标记污染颗粒与微凸起的位置及置信度并生成检测报告； 所述对所述成分谱数据进行多帧叠加处理后，通过非线性最小二乘法拟合去除连续背景噪声并提取特征X射线峰强度的方法包括： 通过加权平均法对所述成分谱数据进行多帧叠加处理，所述多帧叠加处理的叠加帧数根据当前检测子区域的优先级进行动态调整，当检测子区域的优先级高于预设优先级阈值时，通过自适应算法逐步增加叠加帧数直至叠加后成分谱数据的信噪比提升率大于预设提升率阈值； 构建包含多项式基函数和指数衰减基函数的复合背景模型，通过非线性最小二乘法对多帧叠加处理后的成分谱数据进行全局拟合得到所述多项式基函数和指数衰减基函数的权重系数，将所述权重系数代入复合背景模型得到覆盖全能量范围的连续背景噪声；从多帧叠加处理后的成分谱数据中去除所述连续背景噪声得到去噪成分谱数据； 根据预设的靶材元素特征能量范围，利用滑动窗口法在所述去噪成分谱数据中筛选满足局部极大值条件且半高宽处于预设宽度区间的候选特征峰，并根据各候选特征峰的能量通道区间计算峰面积积分值作为特征X射线峰强度，且对每个候选特征峰的左能量边界和右能量边界进行动态校准，所述动态校准为根据候选特征峰对应能量通道的计数率一阶导数变化趋势确定峰边界起始点，若相邻能量通道的计数率相关性系数低于预设相关性阈值，则判定为孤立噪声点形成的伪特征峰并进行剔除。

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