杭州左蓝微电子技术有限公司汪泉获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州左蓝微电子技术有限公司申请的专利RF MEMS滤波器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN107979353B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810014898.6，技术领域涉及：H03H9/46；该发明授权RF MEMS滤波器及其制备方法是由汪泉;张树民;王国浩设计研发完成，并于2018-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本RF MEMS滤波器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种RFMEMS滤波器，包括：硅衬底或者压电基板；沉积在所述硅衬底上的压电薄膜；沉积于压电基板或者压电薄膜上的金属电极；填充于金属电极之间的绝缘层，以及沉积于金属电极和绝缘层上的压电层，以此实现声表面波SAW滤波；沉积于上述压电层上的温度补偿层。本发明使用了双压电层，可以通过压电层材料的搭配以及薄膜晶体取向和厚度控制，调节器件的机电耦合性能；同时相比于传统的单压电层SAW，在获得相同频率器件的过程中可有效降低对光刻的线宽要求。
本发明授权RF MEMS滤波器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种RFMEMSSAW滤波器，其特征在于，包括： 第一压电层； 设置在所述第一压电层上的金属电极，所述金属电极经图形化形成间隔设置； 填充于所述金属电极之间的介质层，所述介质层与所述金属电极具有相同的高度； 以及设置于所述金属电极和所述介质层上的第二压电层； 还包括位于所述第二压电层上的温度补偿层。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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