株式会社迪思科包家亘获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111613528B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010106408.2,技术领域涉及:H01L21/302;该发明授权加工方法是由包家亘设计研发完成,并于2020-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本加工方法在说明书摘要公布了:提供加工方法,缩短被加工物的加工时间。利用具有对被加工物进行保持的保持工作台和喷射加工液的喷射喷嘴的加工装置对设定有沿着第1方向的第1加工预定线和沿着第2方向的第2加工预定线的被加工物进行加工,加工方法具有如下步骤:第1定位步骤,使被加工物的第1方向与加工进给方向一致并将喷射喷嘴定位于第1加工预定线的一端;第1加工步骤,利用加工液沿着第1加工预定线对被加工物进行加工;以及第2定位步骤,使保持工作台旋转而使被加工物的第2方向与加工进给方向一致,并且将喷射喷嘴定位于第2加工预定线的一端,在第2定位步骤中,按照在保持工作台的旋转中加工液被持续喷射至被加工物的方式使保持工作台和喷射喷嘴相对地移动。
本发明授权加工方法在权利要求书中公布了:1.一种加工方法,利用加工装置对被加工物进行加工, 该加工装置具有: 保持工作台,其具有对该被加工物进行保持的保持面; 喷射喷嘴,其对该保持工作台所保持的被加工物喷射加工液; 加工进给单元,其使该保持工作台和该喷射喷嘴沿着加工进给方向相对地移动;以及 旋转单元,其使该保持工作台绕沿着与该保持面垂直的方向的轴旋转, 该被加工物在正面上设定有沿着第1方向的第1加工预定线以及沿着与该第1方向交叉的第2方向的第2加工预定线, 其特征在于, 该加工方法具有如下的步骤: 保持步骤,利用该保持工作台对该被加工物进行保持; 第1定位步骤,在实施了该保持步骤之后,利用该旋转单元使该保持工作台旋转而使该被加工物的该第1方向与该加工进给方向一致,并且将该喷射喷嘴定位于该第1加工预定线的一端; 第1加工步骤,在实施了该第1定位步骤之后,开始从该喷射喷嘴喷射加工液,然后使该保持工作台和该喷射喷嘴沿着该加工进给方向相对地移动,从而利用该加工液沿着该第1加工预定线对该被加工物进行加工; 第2定位步骤,在实施了该第1加工步骤之后,利用该旋转单元使该保持工作台旋转而使该被加工物的该第2方向与该加工进给方向一致,并且将该喷射喷嘴定位于该第2加工预定线的一端;以及 第2加工步骤,在实施了该第2定位步骤之后,使该保持工作台和该喷射喷嘴沿着该加工进给方向相对地移动,利用从该喷射喷嘴喷射的该加工液沿着该第2加工预定线对该被加工物进行加工, 该被加工物在开口被粘接带封住的环状框架的该开口中粘贴于该粘接带, 在该第2定位步骤中,按照在该保持工作台的旋转中该加工液被持续喷射至该被加工物而不直接喷射至该被加工物以外的物体上的方式使该保持工作台和该喷射喷嘴相对地移动。
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