极光先进雷射株式会社藤井光一获国家专利权
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龙图腾网获悉极光先进雷射株式会社申请的专利窄带化装置和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115066655B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080095287.4,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权窄带化装置和电子器件的制造方法是由藤井光一;若林理设计研发完成,并于2020-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本窄带化装置和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了:窄带化装置具有:第1棱镜;第1光栅和第2光栅,它们在通过第1棱镜后的光束的光路上配置于沿第1光栅和第2光栅中的任意方的槽的方向上的不同位置;光束调整光学系统,其配置于第1光栅和第2光栅中的至少任意一个光栅与第1棱镜之间的光束的光路上,使光束的第1部分入射到第1光栅,使光束的第2部分入射到第2光栅;第1致动器,其调整第1部分入射到第1光栅的入射角;第2致动器,其调整第2部分入射到第2光栅的入射角;以及第3致动器,其通过调整光束调整光学系统中包含的至少1个光学元件的位置和姿态中的任意方,来调整第1部分与第2部分的能量比率。
本发明授权窄带化装置和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种窄带化装置,其具有: 第1棱镜,其配置于光束的光路上; 第1光栅和第2光栅,它们在通过所述第1棱镜后的所述光束的光路上配置于沿所述第1光栅和第2光栅中的任意方的槽的方向上的不同位置; 光束调整光学系统,其配置于所述第1光栅和第2光栅中的至少任意一个光栅与所述第1棱镜之间的所述光束的光路上,使所述光束的第1部分入射到所述第1光栅,使所述光束的第2部分入射到所述第2光栅; 第1致动器,其调整所述第1部分入射到所述第1光栅的入射角; 第2致动器,其调整所述第2部分入射到所述第2光栅的入射角;以及 第3致动器,其通过调整所述光束调整光学系统中包含的至少1个光学元件的位置和姿态中的任意方,来调整所述第1部分与所述第2部分的能量比率。
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