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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利在衬底处理系统中用于加载锁的自动清洁获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114631173B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080070608.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权在衬底处理系统中用于加载锁的自动清洁是由亚当·帕特里克·贝特曼;特拉维斯·R·泰勒设计研发完成，并于2020-10-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本在衬底处理系统中用于加载锁的自动清洁在说明书摘要公布了：一种用于清洁衬底处理系统中的加载锁的方法包含：在第一时段中，将与气体源流体连通的第一阀开启，以供应气体通过第一通气口而进入所述加载锁的气体容积。所述气体在足以从所述加载锁的表面上扰动颗粒的压强和流率下供应。所述方法包含：在所述第一时段之后的第二时段中且所述第一阀开启的情况下，将与泵流体连通的第二阀开启，并且启动所述泵以从所述加载锁的所述气体容积中冲洗掉所述气体和所述颗粒；以及在所述第二时段之后的第三时段中，关闭所述第一阀，同时继续经由所述第二阀而从所述加载锁的所述气体容积中泵抽所述气体和所述颗粒。

本发明授权在衬底处理系统中用于加载锁的自动清洁在权利要求书中公布了：1.一种用于清洁衬底处理系统中的加载锁的方法，所述方法包含： a在第一时段中，将与气体源流体连通的第一阀开启，以供应气体向下通过顶部通气口而进入所述加载锁的气体容积，其中所述顶部通气口在所述加载锁的顶表面中且所述气体在足以从所述加载锁的至少底表面上扰动颗粒的压强和流率下供应； b在所述第一时段之后的第二时段中且所述第一阀开启的情况下，i将与泵流体连通的第二阀开启，并且ii启动所述泵以从所述加载锁的所述气体容积中冲洗掉所述气体和所述颗粒； c在所述第二时段之后的第三时段中，关闭所述第一阀，同时继续经由所述第二阀而从所述加载锁的所述气体容积中泵抽所述气体和所述颗粒； d在第四时段中，将与所述气体源流体连通的第三阀开启，以供应所述气体向上通过底部通气口而进入所述加载锁的所述气体容积，其中所述底部通气口在所述加载锁的所述底表面中，且所述气体在足以从所述加载锁的至少所述顶表面上扰动颗粒的压强和流率下供应； e在所述第四时段之后的第五时段中且所述第三阀开启的情况下，i将所述第二阀开启，并且ii启动所述泵以从所述加载锁的所述气体容积中冲洗掉所述气体和所述颗粒；以及 f在所述第五时段之后的第六时段中，关闭所述第三阀，同时继续经由所述第二阀而从所述加载锁的所述气体容积中泵抽所述气体和所述颗粒。

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