富士胶片株式会社榎本雄一郎获国家专利权
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龙图腾网获悉富士胶片株式会社申请的专利图案形成方法、感光性树脂组合物、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114514470B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080070827.3，技术领域涉及：G03F7/027；该发明授权图案形成方法、感光性树脂组合物、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法是由榎本雄一郎;中村敦设计研发完成，并于2020-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本图案形成方法、感光性树脂组合物、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种所获得的图案的形状优异的图案形成方法、用于上述图案形成方法的感光性树脂组合物、包括上述图案形成方法的层叠体的制造方法及包括上述图案形成方法的电子器件的制造方法。图案形成方法包括：第一区域曝光工序，对由感光性树脂组合物构成的感光膜的一部分区域即第一区域进行选择性曝光；第二区域曝光工序，对第二区域进行选择性曝光；及显影工序，对上述第二区域曝光工序后的感光膜进行显影，包含在上述第一区域中的至少一部分区域和包含在上述第二区域中的至少一部分区域为共同区域，上述感光性树脂组合物包含特定的树脂及感光剂。
本发明授权图案形成方法、感光性树脂组合物、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种图案形成方法，其包括： 第一区域曝光工序，对由感光性树脂组合物构成的感光膜的一部分区域即第一区域进行选择性曝光； 第二区域曝光工序，对所述第一区域曝光工序后的感光膜的一部分区域即第二区域进行选择性曝光；及 显影工序，对所述第二区域曝光工序后的感光膜进行显影， 包含在所述第一区域中的至少一部分区域和包含在所述第二区域中的至少一部分区域为共同区域， 包含在所述第一区域及所述第二区域这两者中的区域的面积相对于所述第一区域的总面积的比例为50～100%， 所述感光性树脂组合物包含选自聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑及聚苯并噁唑前体中的至少1种树脂、以及感光剂， 所述感光剂为光自由基聚合引发剂或光产酸剂， 当所述感光剂为光自由基聚合引发剂时，所述树脂具有自由基聚合性基团，所述感光性树脂组合物进一步包含自由基交联剂，另外，当所述感光剂为光产酸剂时，所述树脂具有酸分解性基， 包括在所述显影工序之前的对感光膜的一部分区域进行曝光的工序中，作为某一曝光工序的结束至另一曝光工序的开始为止的时间且不包括其他曝光工序的时间为0.1秒以上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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