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龙图腾网获悉株式会社国际电气申请的专利处理装置、显示方法、半导体器件的制造方法及记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114946011B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180008253.1，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权处理装置、显示方法、半导体器件的制造方法及记录介质是由奥野正则;川崎润一;森真一朗;城宝泰宏;山崎智美设计研发完成，并于2021-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本处理装置、显示方法、半导体器件的制造方法及记录介质在说明书摘要公布了：提供一种包含装置控制器的结构，该装置控制器具有存储部，该存储部至少存储装置数据和警报分析表格，其中，该装置数据至少包括包含传感信息的监控数据及表示各控制器基于上述传感信息检测到的障碍的警报，该警报分析表格至少包括用于分析警报的原因的分析项目，上述装置控制器构成为若检测到上述障碍则输出上述警报，能够确定与上述分析项目相对应的监控数据，显示上述警报的发生历史和包含警报发生时的与上述分析项目相对应的监控数据的收集历史。

本发明授权处理装置、显示方法、半导体器件的制造方法及记录介质在权利要求书中公布了：1.一种处理装置，包括具有存储部的装置控制器，该存储部至少存储装置数据和警报分析表格，其中，该装置数据至少包括包含传感信息的监控数据及表示基于所述传感信息检测到的障碍的警报，该警报分析表格至少包括用于分析警报的原因的分析项目，所述处理装置的特征在于， 所述装置控制器构成为， 若检测到所述障碍则输出包含用于对表示障碍的警报的种类进行确定的警报ID及警报的发生时刻的所述警报， 能够从所述警报ID确定所述分析项目的候选，获取与确定出的候选相对应的多个监控数据，将所获取的所述监控数据与预先决定的阈值进行比较，根据警报发生时刻的所述监控数据的值与所述阈值之差在所述警报的原因中决定某个序位，并在显示画面上以时序显示所述监控数据的值与所述阈值的关系，其中，该显示画面分别具有：显示所述警报的发生历史的区域；和按照所述序位将所获取的多个所述监控数据的收集历史与所述监控数据的值和所述序位、所述阈值及警报发生时刻一起显示的区域， 所述警报分析表格还包括用于识别所述警报的警报ID、表示用于对该警报ID所示的警报的原因进行分析的分析项目的数量的项目数、和用于确定该分析项目的分析项目编号， 所述装置控制器构成为能够受理包含所述警报ID的所述警报的原因分析请求，以所述警报ID对所述警报分析表格进行检索，获取所述项目数及所述分析项目编号，并确定成为所述警报的原因的项目的候选。

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