株式会社斯库林集团小野行雄获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利热处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115668455B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180035426.9，技术领域涉及：H01L21/26；该发明授权热处理装置是由小野行雄;山田隆泰;阿部诚设计研发完成，并于2021-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本热处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种热处理装置。在保持成为处理对象的半导体晶片的晶座，竖立设置有多个衬底支持销。多个衬底支持销等间隔地设置成圆环状。对由多个衬底支持销支持的半导体晶片，从闪光灯照射闪光来加热所述半导体晶片。从闪光灯照射的闪光的脉宽越短，那么越增大设置有多个衬底支持销的设置圆的直径。如果在通过这样的多个衬底支持销支持半导体晶片的状态下照射闪光，那么即便因闪光照射而半导体晶片急剧变形，仍可防止半导体晶片的破裂。
本发明授权热处理装置在权利要求书中公布了：1.一种热处理装置，通过对衬底照射闪光来加热所述衬底，且包含： 腔室，收容衬底； 晶座，在所述腔室内保持所述衬底； 多个支持销，设置在所述晶座，支持所述衬底；以及 闪光灯，对受所述晶座保持的所述衬底照射闪光； 所述晶座上的所述多个支持销的设置位置根据从所述闪光灯照射的闪光的脉宽而不同；且 所述多个支持销在所述晶座上设置成圆环状， 所述脉宽越短，那么设置有所述多个支持销的设置圆的直径越大； 所述设置圆为设置成圆环状的所述多个支持销形成的圆。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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