苏州跃芯微传感技术有限公司马清杰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州跃芯微传感技术有限公司申请的专利一种MEMS压力传感器及其的制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115326249B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210834456.2，技术领域涉及：G01L1/18；该发明授权一种MEMS压力传感器及其的制作方法是由马清杰;李静设计研发完成，并于2021-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS压力传感器及其的制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS压力传感器及其的制作方法，所述MEMS压力传感器包括：排列在第一平面上的四个条状凸起，其中每个所述条状凸起均包括P型浓掺杂层；多个电极，其中各所述电极用于各所述条状凸起接入输入电信号和输出电信号，各所述电极和各所述条状凸起构成惠斯通电桥；应变薄膜层，其设置于腔体与所述惠斯通电桥之间。该结构以实现提高压力传感器的灵敏度和稳定性，并减小压力传感器的尺寸。
本发明授权一种MEMS压力传感器及其的制作方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS压力传感器，其特征在于，包括： 排列在第一平面上的四个条状凸起，其中每个所述条状凸起均包括P型浓掺杂层； 多个电极，其中各所述电极用于各所述条状凸起接入输入电信号和输出电信号，各所述电极和各所述条状凸起构成惠斯通电桥； 设置于腔体与所述惠斯通电桥之间的应变薄膜层， 各所述条状凸起均包括压敏电阻部和两个导线部；所述压敏电阻部的两端分别与一个所述导线部连接；其中，所述压敏电阻部线宽小于所述导线部线宽。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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