长鑫存储技术有限公司王世生获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利晶圆颗粒的质量等级确定方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115565589B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110753147.8,技术领域涉及:G11C29/08;该发明授权晶圆颗粒的质量等级确定方法和装置是由王世生设计研发完成,并于2021-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆颗粒的质量等级确定方法和装置在说明书摘要公布了:本发明实施例提供一种晶圆颗粒的质量等级确定方法和装置,获取多个晶圆颗粒的分bin结果,根据分bin结果确定至少两个重要bin,根据重要bin的取值形成多个bin组合,根据多个晶圆颗粒的分bin结果,确定每个bin组合的无效晶圆颗粒的PPM以及PPM的置信区间最大值,根据多个bin组合的PPM的置信区间最大值的大小,确定每个bin组合对应的晶圆颗粒质量等级。该方式通过对大量晶圆颗粒的分bin结果进行统计分析,获得重要bin组成的bin组合,并形成bin组合与晶圆颗粒的质量等级的对应关系,后续根据该对应关系预测待分类晶圆颗粒的质量等级,该方式对晶圆颗粒的质量等级的预测效率更高,且预测准确率也更高。
本发明授权晶圆颗粒的质量等级确定方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆颗粒的质量等级确定方法,其特征在于,包括: 获取多个晶圆颗粒的分bin结果,每个晶圆颗粒的分bin结果包括晶圆颗粒的标识、bin的类型、各bin的取值和数据标签; 根据所述分bin结果确定至少两个重要bin,所述重要bin为对晶圆颗粒的质量影响较大的bin; 根据所述重要bin的取值形成多个bin组合,每个bin组合由所述重要bin组成,且任意两个bin组合中有至少一个重要bin的取值不同; 根据所述多个晶圆颗粒的分bin结果,确定每个bin组合的无效晶圆颗粒的百万分率PPM以及PPM的置信区间最大值; 根据所述多个bin组合的PPM的置信区间最大值的大小,确定每个bin组合对应的晶圆颗粒质量等级; 将待分类晶圆颗粒的各bin值,与所述多个bin组合进行匹配,将匹配成功的目标bin组合对应的晶圆颗粒质量等级确定为所述待分类晶圆颗粒的质量等级。
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