浜松光子学株式会社杉本阳获国家专利权
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龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利激光加工装置和激光加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114054984B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110862573.5,技术领域涉及:B23K26/50;该发明授权激光加工装置和激光加工方法是由杉本阳设计研发完成,并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光加工装置和激光加工方法在说明书摘要公布了:激光加工装置对具有基板和功能元件层的对象物照射加工用激光,该基板包含第1主面和第2主面,该功能元件层设置于基板的第1主面侧且包含金属层,在功能元件层的内部沿着假想面形成改质区域。激光加工装置包括:从第2主面侧对对象物照射加工用激光的加工用照射部;从第2主面侧对对象物照射透过基板的观察用透过光的观察用照射部;移动机构;取得观察用透过光的焦点对准金属层时的厚度方向上的观察用照射部和或支承部的位置作为金属层焦点位置的焦点位置取得部;和以由焦点位置取得部取得的金属层焦点位置为基准,将形成改质区域时的厚度方向上的加工用照射部和或支承部的位置设定为激光加工位置的加工位置设定部。
本发明授权激光加工装置和激光加工方法在权利要求书中公布了:1.一种激光加工装置,其特征在于, 对具有基板和功能元件层的对象物照射加工用激光,所述基板包含第1主面和所述第1主面的相反侧的第2主面,所述功能元件层设置于所述基板的所述第1主面侧且包含金属层,在所述功能元件层的内部沿着假想面形成改质区域, 所述激光加工装置包括: 支承所述对象物的支承部; 从所述第2主面侧对所述对象物照射所述加工用激光的加工用照射部; 从所述第2主面侧对所述对象物照射透过所述基板的观察用透过光的观察用照射部; 使所述支承部、所述加工用照射部和所述观察用照射部中的至少任一个在所述对象物的厚度方向上移动的移动机构; 取得所述观察用透过光的焦点对准所述金属层时的所述厚度方向上的所述观察用照射部和或所述支承部的位置作为金属层焦点位置的焦点位置取得部;和 以由所述焦点位置取得部取得的所述金属层焦点位置为基准,将形成所述改质区域时的所述厚度方向上的所述加工用照射部和或所述支承部的位置设定为激光加工位置的加工位置设定部。
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