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龙图腾网获悉深圳市笨辉光电科技有限公司申请的专利一种光刻机系统及光刻方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114114856B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111544292.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻机系统及光刻方法是由侯国辉;侯国利;刘友兰;侯利艳设计研发完成，并于2021-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机系统及光刻方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机系统及光刻方法。该光刻机系统包括光源模块，光源模块能够发射至少两种能量光束；能量光束调节模块，用于调整能量光束的波长和能量；光学组件模块，光学组件模块用于对能量光束进行共线合轴和聚焦形成贝塞尔光束；四波混频光发射模块，用于提供四波混频蓝光，四波混频蓝光与贝塞尔光束进行共线合轴和聚焦能够形成短波能量光束；运动组件模块，包括样品台和智能机械手，样品台设置成能够进行位置移动状态，智能机械手用于调整样品台上的待刻样品位置，通过该系统能够实现光刻光束线宽的无限缩小，光束能够缩小到5nm、3nm及2nm甚至更低，在提高光刻精度的同时还降低了功耗。

本发明授权一种光刻机系统及光刻方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻机系统，其特征在于，包括： 光源模块，所述光源模块能够发射至少两种能量光束，所述光源模块包括单波段光源、连续波段光源和部分波段光源，所述能量光束包括基础赋能光束和光刻光束； 能量光束调节模块，所述能量光束调节模块用于调整所述能量光束的波长和能量，所述能量光束调节模块包括滤波器和分束镜； 光学组件模块，所述光学组件模块至少包括两个凹面镜和至少一个聚焦镜，所述光学组件模块用于对所述能量光束进行共线合轴和聚焦形成贝塞尔光束； 四波混频光发射模块，所述四波混频光发射模块用于提供四波混频蓝光，所述四波混频蓝光与所述贝塞尔光束进行共线合轴和聚焦能够形成短波能量光束，所述四波混频光发射模块包括球状或者柱状的四波混频蓝光发射元件； 运动组件模块，所述运动组件模块包括样品台和智能机械手，所述样品台设置成能够进行位置移动状态，所述智能机械手用于调整所述样品台上的待刻样品位置； 定位反馈模块，所述定位反馈模块包括激光与宽带光反馈装置，所述激光与宽带光反馈装置用于对所述样品台的位置进行定位和反馈； 终端控制中心，所述终端控制中心为所述光刻机系统的主控单元，能够控制所述光学组件模块内部组件的运动，并且能够使其形成对所述能量光束进行共线合轴和聚焦的反射光路。

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