应用材料公司S·M·苏尼卡获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利利用浮动边缘控制的抛光承载头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115008337B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210208134.7，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权利用浮动边缘控制的抛光承载头是由S·M·苏尼卡;A·J·纳耿加斯特;J·古鲁萨米设计研发完成，并于2022-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用浮动边缘控制的抛光承载头在说明书摘要公布了：本申请公开了利用浮动边缘控制的抛光承载头。一种用于在抛光系统中固持基板的承载头包括：壳体；环形主体，通过致动器相对于壳体是竖直地可移动的；第一环形隔膜，经固定以在环形主体下方移动，从而在第一环形隔膜与环形主体之间形成至少一个下可加压腔室；以及至少一个压力供应线，连接至至少一个下可加压腔室。环形主体包括上部以及从该上部向下伸出的至少一个下杆，其中，该至少一个下杆位于至少一个下可加压腔室内部。
本发明授权利用浮动边缘控制的抛光承载头在权利要求书中公布了：1.一种用于在抛光系统中固持基板的承载头，包括： 壳体； 柔性的中央隔膜，具有一个或多个翻板以用于形成一个或多个可加压腔室； 保持环； 环形压力控制组件，位于所述保持环与所述柔性的中央隔膜之间，所述环形压力控制组件包括： 环形主体，所述环形主体通过致动器相对于所述壳体是竖直地可移动的，所述环形主体包括上部以及从所述上部向下伸出的至少一个下杆；和 第一环形隔膜，经固定至所述环形主体并且在所述环形主体下方延伸，从而在所述第一环形隔膜与所述环形主体之间形成至少一个下可加压腔室，其中，所述至少一个下杆位于所述至少一个下可加压腔室内部；以及至少一个压力供应线，连接至所述至少一个下可加压腔室。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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