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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种半导体工艺流程的管理方法、装置及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116860724B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210275080.6，技术领域涉及：G06F16/215；该发明授权一种半导体工艺流程的管理方法、装置及设备是由徐莹;郑悦文设计研发完成，并于2022-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体工艺流程的管理方法、装置及设备在说明书摘要公布了：本公开提供了一种半导体工艺流程的管理方法、装置及设备，属于半导体技术领域，响应于数据修改指令，获取对半导体工艺流程中参数进行修改的修改指示信息；根据所述修改指示信息确定修改的参数所属的目标路径及目标站点，并提取所述修改的参数中的第一关键词；在与所述目标路径相同或不同路径中各站点相关参数中进行与第一关键词相匹配的第二关键词搜索，确定与所述修改的参数相关联的关联站点及其所在的路径；将所述关联站点及其所在的路径作为关联数据输出，根据用户的指示确定是否对所述修改的参数进行修改。通过本公开提供的方法解决了目前手动去查找耗费时间长，操作复杂，若修改内容种类多，数量大，且会存在遗漏的问题。

本发明授权一种半导体工艺流程的管理方法、装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺流程的管理方法，其特征在于，所述方法包括： 响应于数据修改指令，获取对半导体工艺流程中参数进行修改的修改指示信息，所述半导体工艺流程包括对应不同控制节点的路径，其中，将各控制节点执行的多个独立工艺子流程分别作为站点，按照执行顺序排序得到所述路径； 根据所述修改指示信息确定修改的参数所属的目标路径及目标站点，并提取所述修改的参数中的第一关键词；在提取第一关键词时，需对修改指示信息进行全局遍历，按照预设顺序逐个对所述修改指示信息中修改的参数提取第一关键词；所述关键词为预先配置好的，预先确定不同路径中各站点相关参数所属类型，确定不同类型的相关参数对应的修改项目，并配置不同修改项目对应的关键词，不同的修改项目对应不同的关键词； 在与所述目标路径相同或不同路径中各站点相关参数中进行与第一关键词相匹配的第二关键词搜索，确定与所述修改的参数相关联的关联站点及其所在的路径； 将所述关联站点及其所在的路径作为关联数据输出，根据用户的指示确定是否对所述修改的参数进行修改。

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