北京北方华创微电子装备有限公司杨京获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及脉冲信号控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114709125B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210321984.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权半导体工艺设备及脉冲信号控制方法是由杨京;黄亚辉;赵晓建;张鹏设计研发完成，并于2022-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及脉冲信号控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体工艺设备及脉冲信号控制方法，该半导体工艺设备包括工艺腔室、上电极和下电极、方波电源和两个射频电源，其中，上电极和下电极沿竖直方向相对设置于工艺腔室中，下电极用于承载晶圆；两个射频电源的频率不同，用于输出射频连续信号或者射频脉冲信号，两个射频电源中的一者与下电极连接，另一者与下电极或者上电极连接，方波电源与上电极连接，用于输出可变频率的脉冲电压信号。本发明提供的半导体工艺设备及脉冲信号控制方法，可以在进行等离子体刻蚀工艺的过程中对刻蚀形貌进行调节，以获得高深宽比且侧壁垂直的刻蚀形貌。
本发明授权半导体工艺设备及脉冲信号控制方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括工艺腔室、上电极和下电极、方波电源和两个射频电源，其中， 所述上电极和所述下电极沿竖直方向相对设置于所述工艺腔室中，所述下电极用于承载晶圆；两个射频电源的频率不同，用于输出射频连续信号或者射频脉冲信号，两个所述射频电源中的一者与所述下电极连接，另一者与所述下电极或者所述上电极连接，所述方波电源与所述上电极连接，用于输出可变频率的脉冲电压信号； 所述脉冲电压信号的周期为第一周期，所述第一周期包括第一时段和第二时段，所述两个射频电源的频率高的一者的周期为第二周期，所述第二周期的信号输出时段与所述第一时段同步。
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