北京北方华创微电子装备有限公司王岩获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利上电极组件及半导体工艺腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114823257B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210586098.8，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权上电极组件及半导体工艺腔室是由王岩;余江浦;王伟设计研发完成，并于2022-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本上电极组件及半导体工艺腔室在说明书摘要公布了：本发明公开一种上电极组件及半导体工艺腔室，上电极组件包括盖板、喷嘴、位置检测机构和调节机构；所述盖板开设有安装孔，所述喷嘴设置于所述安装孔内；所述位置检测机构设置于所述盖板上，所述位置检测机构用于检测所述喷嘴在所述安装孔内的径向位置；所述调节机构设置于所述盖板，所述调节机构用于调节所述喷嘴在所述安装孔内的径向位置；当所述位置检测机构检测到所述喷嘴在所述安装孔内的径向位置偏移时，所述调节机构可对所述喷嘴在所述安装孔内的径向位置进行调节，以对所述喷嘴在所述安装孔内的径向位置进行矫正。上述方案能够解决半导体工艺腔室的工艺性能较差的问题。
本发明授权上电极组件及半导体工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种上电极组件，应用于半导体工艺腔室，其特征在于，包括： 盖板（110）和喷嘴（120），所述盖板（110）开设有安装孔，所述喷嘴（120）设置于所述安装孔内； 位置检测机构（130），所述位置检测机构（130）设置于所述盖板（110）上，所述位置检测机构（130）用于检测所述喷嘴（120）在所述安装孔内的径向位置是否偏移； 调节机构（140），所述调节机构（140）设置于所述盖板（110），所述调节机构（140）用于调节所述喷嘴（120）在所述安装孔内的径向位置； 当所述位置检测机构（130）检测到所述喷嘴（120）在所述安装孔内的径向位置偏移时，所述调节机构（140）可对所述喷嘴（120）在所述安装孔内的径向位置进行调节，以对所述喷嘴（120）在所述安装孔内的径向位置进行矫正。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号