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龙图腾网获悉苏州源展材料科技有限公司申请的专利一种ALD源分装钢瓶的检漏装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115452276B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211034581.1，技术领域涉及：G01M3/32；该发明授权一种ALD源分装钢瓶的检漏装置及方法是由任大平设计研发完成，并于2022-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种ALD源分装钢瓶的检漏装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种ALD源分装钢瓶的检漏装置，该装置包括传递仓，传递仓通过冷阱和真空泵相连接，传递仓内部设置有称重装置，分装钢瓶置于称重装置上，分装钢瓶内部存储有ALD源，传递仓的外壁上包覆有加热元件，传递仓上还连接有压力表。本发明还公开了一种ALD源分装钢瓶的检漏方法。本发明可以对装有ALD源的钢瓶的泄漏率进行有效检测，操作安全、便捷，大大降低了ALD源的分装钢瓶存在泄露而造成安全风险的可能性。

本发明授权一种ALD源分装钢瓶的检漏装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种ALD源分装钢瓶的检漏方法，其特征在于：利用ALD源分装钢瓶的检漏装置，其包括传递仓，所述传递仓通过冷阱和真空泵相连接，所述传递仓内部设置有称重装置，分装钢瓶置于所述称重装置上，所述分装钢瓶内部存储有ALD源，所述传递仓的外壁上包覆有加热元件，所述传递仓上还连接有压力表，所述传递仓上设置左侧仓门和右侧仓门，所述左侧仓门打开就是手套箱的箱体，所述传递仓不做检漏时，充当正常传递仓的无水无氧操作置换作用；所述方法包括以下步骤： S1）将装有ALD源的分装钢瓶置于传递仓内部的称重装置上，并向冷阱中加入液氮； S2利用加热元件对传递仓进行加热，直至传递仓内部温度达到ALD源的极限真空沸点； S3定义所述极限真空沸点所对应的真空度为M1,传递仓内的预设真空度为M2;其中，； 开启冷阱并利用真空泵对传递仓进行抽真空处理，直至压力表检显示传递仓内的实际真空度达到M2，从而使得传递仓达到检测状态； S4使得传递仓维持在检测状态至设定时间，若称重装置所称得的分装钢瓶的称重重量降低，则表示分装钢瓶存在泄漏现象，否则，表示不存在泄漏现象； 步骤S1之前还包括ALD源的分装过程为：先把空钢瓶通过传递仓真空置换送入手套箱；然后将ALD源灌装进入钢瓶内，灌装完成后，完成钢瓶密封，再放入传递仓，进行钢瓶检漏工作。

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