福建华佳彩有限公司张麒麟获国家专利权
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龙图腾网获悉福建华佳彩有限公司申请的专利一种OLED蒸镀生产静电消除装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115216739B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211031677.2,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种OLED蒸镀生产静电消除装置及方法是由张麒麟;郑国清设计研发完成,并于2022-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种OLED蒸镀生产静电消除装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种OLED蒸镀生产静电消除装置及方法,涉及OLED生产技术领域。所述装置包括:光罩;至少一个遮挡区,设置于所述光罩的基材上,所述遮挡区与玻璃基板上OLED镀膜区一一对应,且每一所述遮挡区的面积均不小于对应的OLED镀膜区的面积;定位区,设置于所述光罩的基材上,用于与感应装置配合对所述光罩进行定位;静电消除光源,设置于所述光罩上方。本发明提供的一种OLED蒸镀生产静电消除装置及方法,使带有OLED镀膜的玻璃基板在真空环境下可以有效消除静电,实现简单且无需另增设专门除静电腔体,成本低,还可以对应多种OLED产品,提高产品良率。
本发明授权一种OLED蒸镀生产静电消除装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种OLED蒸镀生产静电消除方法,其特征在于,用于在蒸镀制程对蒸镀机内真空环境中的玻璃基板进行静电消除,需提供OLED蒸镀生产静电消除装置,包括: 光罩; 至少一个遮挡区,设置于所述光罩的基材上,所述遮挡区与玻璃基板上OLED镀膜区一一对应,且每一所述遮挡区的面积均不小于对应的OLED镀膜区的面积; 定位区,设置于所述光罩的基材上,用于与感应装置配合对所述光罩进行定位; 静电消除光源,设置于所述光罩上方; 所述方法包括: 步骤10、根据待蒸镀的OLED产品,通过卷绕组件或者驱动部切换与待蒸镀的OLED产品对应的光罩; 步骤20、当OLED产品玻璃基板传送至光罩下方时,通过定位区和感应装置使遮挡区与玻璃基板上的OLED器件映射对应; 步骤30、开启静电消除光源,静电消除光源通过光罩对玻璃基板的OLED器件以外的部分进行静电消除,达到照射时间后关闭; 步骤40、将OLED产品玻璃基板继续传送下一制程站点。
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