东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司李细柳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司申请的专利多弧及磁控复合溅射阴极获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116121719B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211446181.1，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权多弧及磁控复合溅射阴极是由李细柳;杨江设计研发完成，并于2022-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本多弧及磁控复合溅射阴极在说明书摘要公布了：本发明公开了本发明优选实施例中公开了多弧及磁控复合溅射阴极，包括安装架、升降装置、阴极磁板和靶面板；所述升降装置包括安装板、联轴器、升降轴和升降头；所述安装板设置在所述安装架的底部；所述联轴器设置在所述安装板的底部；所述升降轴与所述联轴器传动连接；所述升降头螺纹传动设置在所述升降轴的顶部；所述阴极磁板活动设置在所述安装架的顶部，并且所述阴极磁板安装在所述升降头的顶部；所述靶面板架设在所述安装架的顶部，并且所述靶面板位于所述阴极磁板的上方。本发明通过调节阴极磁铁到靶面的距离，可以在一个阴极靶上实现多弧溅射及磁控溅射的工艺。
本发明授权多弧及磁控复合溅射阴极在权利要求书中公布了：1.多弧及磁控复合溅射阴极，其特征在于，包括： 安装架； 升降装置；所述升降装置包括安装板、联轴器、升降轴和升降头；所述安装板设置在所述安装架的底部；所述联轴器设置在所述安装板的底部；所述升降轴与所述联轴器传动连接；所述升降头螺纹传动设置在所述升降轴的顶部； 阴极磁板；所述阴极磁板活动设置在所述安装架的顶部，并且所述阴极磁板安装在所述升降头的顶部； 靶面板；所述靶面板架设在所述安装架的顶部，并且所述靶面板位于所述阴极磁板的上方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市长安镇长安新民路189号8号楼103室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号