UP化学株式会社金润泰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉UP化学株式会社申请的专利钌前体组合物、其制备方法以及使用其形成含钌膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119317732B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380045156.9，技术领域涉及：C23C16/18；该发明授权钌前体组合物、其制备方法以及使用其形成含钌膜的方法是由金润泰;韩元锡;朴赟峨;高元勇设计研发完成，并于2023-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本钌前体组合物、其制备方法以及使用其形成含钌膜的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种钌前体组合物、其制备方法以及使用其形成含钌膜的方法。根据本发明的实施方案，包括使由化学式4表示的化合物与由化学式5表示的碱金属碳酸盐和1,5‑己二烯在有机溶剂中进行反应的步骤，并通过将由化学式1表示的化合物、由化学式2表示的化合物和由化学式3表示的化合物控制在特定的含量范围内，可以以经济有效的方式提供非常热稳定的钌前体组合物。此外，在使用钌前体组合物形成含钌膜的情况下，在使钌前体组合物汽化的过程中或甚至之后，可以防止钌前体组合物的组成发生变化，可以最大限度地减少诸如热解物质等的副产物的产生，因此可以在半导体工艺中获得具有稳定和恒定性质的沉积结果。在这方面，可以提供一种具有保证再现性和可靠性的含钌膜。
本发明授权钌前体组合物、其制备方法以及使用其形成含钌膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种钌前体组合物，以钌前体组合物的总重量计，所述钌前体组合物包含20重量％至60重量％的由下式1表示的化合物、20重量％至50重量％的由下式2表示的化合物，和0重量％至55重量％的由下式3表示的化合物： [式1] [式2] [式3]
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人UP化学株式会社，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号