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龙图腾网获悉中山大学申请的专利一种三自由度激光干涉测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116428966B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310443051.0，技术领域涉及：G01B9/02015；该发明授权一种三自由度激光干涉测量装置是由陈钦顺;朱凡;黄锐婷;王金梦;陈艳;黄祥青;叶贤基设计研发完成，并于2023-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三自由度激光干涉测量装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种三自由度激光干涉测量装置，包括：依次设置的激光发射模块、激光分束模块、干涉信号生成模块和信号处理模块，干涉信号生成模块包括并行设置的第一、第二干涉信号生成模块；激光发射模块发射激光光束；激光分束模块将激光光束分为频率不同的两个子光束；两个子光束进入第一干涉信号生成模块的两个空间分离光路，分别得到第一测量光和第一参考光并形成第一干涉信号；两个子光束同时进入第二干涉信号生成模块的两个空间分离光路，分别得到第二测量光和第二参考光并形成第二干涉信号；信号处理模块对第一、第二干涉信号进行处理得到待测目标的俯仰角、偏航角和纵向位移。本发明能显著降低光学非线性误差，得到高精度的三自由度值。

本发明授权一种三自由度激光干涉测量装置在权利要求书中公布了：1.一种三自由度激光干涉测量装置，其特征在于，包括： 依次设置的激光发射模块、激光分束模块、干涉信号生成模块和信号处理模块，所述干涉信号生成模块与所述信号处理模块通信连接，所述干涉信号生成模块包括并行设置的第一干涉信号生成模块和第二干涉信号生成模块； 其中，所述激光发射模块发射激光光束至所述激光分束模块； 所述激光分束模块将所述激光光束分为频率不同的第一子光束和第二子光束并入射至所述第一干涉信号生成模块和所述第二干涉信号生成模块； 所述第一干涉信号生成模块包括第一光电探测器、光路空间分离的第一子光路和第二子光路，所述第一子光路、所述第二子光路并行设置在所述第一光电探测器的前面，所述第一子光束在所述第一子光路上形成第一测量光，所述第二子光束在所述第二子光路上形成第一参考光，所述第一参考光和所述第一测量光在所述第一光电探测器上进行干涉形成第一干涉信号； 所述第二干涉信号生成模块包括第二光电探测器、光路空间分离的第三子光路和第四子光路，所述第三子光路、所述第四子光路并行设置在所述第二光电探测器的前面，所述第一子光束在所述第三子光路上形成第二测量光，所述第二子光束在所述第四子光路上形成第二参考光，所述第二参考光和所述第二测量光在所述第二光电探测器上进行干涉形成第二干涉信号； 所述信号处理模块将所述第一干涉信号转换为干涉测量过程中的噪声本底，利用所述噪声本底对所述第二干涉信号转换后的电压信号进行噪声补偿，最终得到待测目标的俯仰角、偏航角和纵向位移； 所述激光分束模块包括：第一分光棱镜、第一声光移频器、第二声光移频器、第一反射镜、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第一准直透镜和第二准直透镜； 其中，第一声光移频器和所述第一反射镜对应设置在所述第一分光棱镜的后面，所述第一光纤耦合器、所述第一准直透镜依次设置在所述第一声光移频器的后面，所述第二声光移频器、所述第二光纤耦合器、所述第二准直透镜依次设置在所述第一反射镜的后面； 所述第一分光棱镜将所述激光光束分为互相垂直的反射光和透射光，所述第一声光移频器对所述透射光进行移频，所述第一光纤耦合器对移频后的透射光进行耦合，所述第一准直透镜将耦合后的透射光变为平行光并作为第一子光束；所述第一反射镜将所述反射光反射至所述第二声光移频器，所述第二声光移频器对所述反射光进行移频，所述第二光纤耦合器对移频后的反射光进行耦合，所述第二准直透镜将耦合后的反射光变为平行光并作为第二子光束； 所述第一反射镜为45°反射镜。

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