吉林大学杨光获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利一种芯片近场磁场测量系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116482588B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310476780.6,技术领域涉及:G01R33/10;该发明授权一种芯片近场磁场测量系统是由杨光;周宁;金雪莹;孙旭旭;李抵非;邱春玲;田地设计研发完成,并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片近场磁场测量系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种芯片近场磁场测量系统,涉及磁场测量技术领域。所述系统包括:激光发射调制装置、光路调整模块、金刚石片、电控二维位移台、CCD相机和电磁屏蔽控制装置;通过设置激光发射调制装置和电磁屏蔽控制装置发出调制激光和量子态调控微波,与被测芯片测量区域的近场磁场共同作用下生成荧光信号,根据被测芯片上不同测量区域对应的荧光信号,确定被测芯片的近场磁场分布。本发明通过设置激光发射调制装置和电磁屏蔽控制装置能够提高大面积芯片近场磁场的测量效率。
本发明授权一种芯片近场磁场测量系统在权利要求书中公布了:1.一种芯片近场磁场测量系统,其特征在于,包括:激光发射调制装置、光路调整模块、金刚石片、电控二维位移台、CCD相机和电磁屏蔽控制装置; 所述激光发射调制装置设置于所述光路调整模块的第一输入光路上;所述激光发射调制装置用于输出调制激光; 所述电控二维位移台设置于所述光路调整模块的第一输出光路和第二输入光路上;所述第一输出光路和所述第二输入光路重合且光信号传输的方向相反;所述电控二维位移台用于搭载被测芯片,并通过水平滑动调整被测芯片的测量区域; 所述金刚石片设置于所述电控二维位移台和所述光路调整模块之间;所述金刚石片在被测芯片通电时处于被测芯片测量区域的近场磁场范围内;所述测量区域为金刚石片在被测芯片上的投影区域; 所述CCD相机设置于所述光路调整模块的第二输出光路上; 所述电磁屏蔽控制装置分别与所述电控二维位移台、所述激光发射调制装置、所述金刚石片和所述所述CCD相机连接;所述电磁屏蔽控制装置用于控制所述电控二维位移台水平滑动;所述电磁屏蔽控制装置还用于发出量子态调控微波对所述金刚石片进行量子态微波调制; 所述光路调整模块置用于将所述调制激光反射至覆盖在被测芯片上的金刚石片;所述光路调整模块置还用于将荧光信号透射至所述CCD相机;所述荧光信号是所述金刚石片在所述调制激光、所述量子态调控微波和被测芯片测量区域的近场磁场共同作用下生成的; 所述电磁屏蔽控制装置还用于根据被测芯片上不同测量区域对应的荧光信号,确定被测芯片的近场磁场分布。
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