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龙图腾网获悉柳州华锡有色设计研究院有限责任公司申请的专利一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117447188B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311339456.6，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法是由樊繁;王莉莉;徐灿辉;农永萍;赵明勇设计研发完成，并于2023-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法，按以下步骤进行：将IGZO生坯放入烧结炉中，在负压以及空气气氛下，由室温以速率Ⅰ升至第一烧结温度500～700℃，保温2～6h进行脱脂；将炉内的温度再以速率Ⅰ升至700～800℃后开始充入氧气，控制炉内的气压；在氧气气氛下，将炉内的温度以速率Ⅱ升至第二烧结温度1350～1550℃，保温1～4h；将炉内的温度以速率Ⅲ降至第三烧结温度1300～1380℃，保温4～6h，在此段保温时间的中点通入氩气、调整氧气流量来调节炉内氧体积浓度，氧气和氩气流量比控制在（0.2～0.8）:1；将炉内的温度以速率Ⅳ降至800～1000℃后随炉冷却，停止通入氧气，当温度降至650～950℃停止通入氩气，最后室温出炉，得到IGZO靶材。本发明操作简便，工艺简单可控，可实现大规模工业生产，获得的IGZO靶材相对密度可达99.70%，电阻率不高于1.49mΩ·cm。

本发明授权一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法在权利要求书中公布了：1.一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法，其特征在于，按以下步骤进行： （1）将IGZO生坯放入烧结炉中，在负压以及空气气氛下，由室温以速率Ⅰ升至第一烧结温度500～700℃，保温2～6h进行脱脂； （2）将炉内的温度再以速率Ⅰ升至700～800℃后开始充入氧气，控制炉内的气压； （3）在氧气气氛下，将炉内的温度以速率Ⅱ升至第二烧结温度1350～1550℃，保温1～4h； （4）将炉内的温度以速率Ⅲ降至第三烧结温度1300～1380℃，保温4～6h，在此段保温时间的中点通入氩气、调整氧气流量来调节炉内氧体积浓度，氧气和氩气流量比控制在（0.2～0.8）:1； （5）将炉内的温度以速率Ⅳ降至800～1000℃后随炉冷却，停止通入氧气，当温度降至650～950℃停止通入氩气，最后室温出炉，得到IGZO靶材。

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