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无锡贝伦思科技有限公司刘俊成获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡贝伦思科技有限公司申请的专利一种CMP设备清洁单元的甩干夹持机械结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223260575U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422047908.X,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种CMP设备清洁单元的甩干夹持机械结构是由刘俊成;陆铭设计研发完成,并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种CMP设备清洁单元的甩干夹持机械结构在说明书摘要公布了:本申请涉及晶圆设备技术的领域,尤其涉及一种CMP设备清洁单元的甩干夹持机械结构,其包括安装座、拉块、滑动板、固定板和夹持滚轮,滑动板滑动设置于安装座上,安装座的侧壁上开设有供滑动板滑动的滑槽,滑动板在安装座上设有两个,滑动板上开设有通槽,两个滑动板上通槽相互交叉设置,两个通槽之间滑动有滑块,滑块上穿设有拉杆,安装座的开口上连接有固定环板,拉块设置于固定环板的中心,拉块上连接有固定块,固定块上开设有供拉杆穿入的穿孔,固定板连接于两个滑动板相距较远的端部,夹持滚轮连接于固定板上,夹持滚轮在每个固定板顶部的两端分别设有一个。本申请具有改善甩干夹持机械结构复杂、磨损点较多导致使用寿命低的问题的作用。

本实用新型一种CMP设备清洁单元的甩干夹持机械结构在权利要求书中公布了:1.一种CMP设备清洁单元的甩干夹持机械结构,其特征在于:包括安装座4、拉块5、滑动板6、固定板7和夹持滚轮8,所述安装座4呈中空的筒状设置,所述滑动板6滑动设置于安装座4上,所述安装座4的侧壁上开设有供滑动板6滑动的滑槽41,所述滑动板6在安装座4上设有两个,两个所述滑动板6在安装座4轴线的两侧分别相对平行设有一个,所述滑动板6上开设有呈倾斜设置的通槽61,两个所述滑动板6上通槽61相互交叉设置,两个所述通槽61之间滑动有滑块62,所述滑块62上穿设有拉杆621,所述安装座4的开口上连接有固定环板42,所述拉块5设置于固定环板42的中心,所述拉块5上连接有固定块51,所述固定块51上开设有供拉杆621穿入的穿孔,所述固定板7连接于两个滑动板6相距较远的端部,所述夹持滚轮8连接于固定板7上,所述夹持滚轮8在每个固定板7顶部的两端分别设有一个。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡贝伦思科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区中关村科技创新园92号J1-2栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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