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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利转接装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118855793B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411170963.6，技术领域涉及：F15B15/14；该发明授权转接装置及半导体工艺设备是由徐刚;王锐廷;赵宏宇;王龙;高少飞;王延广;马宏帅;邓曾红设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本转接装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种转接装置及半导体工艺设备，所公开的转接装置用于将传感器转接至工艺位，所述转接装置包括缸体、活塞组件、隔离件、壳体和封堵部；其中：活塞组件的活塞滑动地设于缸体中，缸体包括本体部和堵头，本体部为一端为开口端、另一端为封闭端的中空结构件，堵头封堵于开口端；隔离件设于缸体与壳体之间，壳体具有过流腔以及与过流腔连通的流入孔；其中，流入孔用于与工艺位连通，过流腔用于与传感器连通；活塞组件的活塞杆依次穿过堵头和隔离件，而伸至过流腔中与封堵部相连，以用于带动封堵部在第一位置与第二位置之间切换。上述方案能解决相关技术涉及的转接装置存在容易污染晶片的问题。

本发明授权转接装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种转接装置，用于将传感器转接至工艺位，其特征在于，包括缸体11、活塞组件12、隔离件20、壳体30和封堵部40；其中： 所述活塞组件12的活塞121滑动地设于所述缸体11中，所述缸体11包括本体部111和堵头112，所述本体部111为一端为开口端、另一端为封闭端的中空结构件，所述堵头112封堵于所述开口端； 所述隔离件20设于所述缸体11与所述壳体30之间，所述壳体30具有过流腔31以及与所述过流腔31连通的流入孔32；其中，所述流入孔32用于与所述工艺位连通，所述过流腔31用于与所述传感器连通； 所述活塞组件12的活塞杆122依次穿过所述堵头112和所述隔离件20，而伸至所述过流腔31中与所述封堵部40相连，以用于带动所述封堵部40在第一位置与第二位置之间切换；在所述封堵部40处于所述第一位置时，所述活塞杆122伸至使所述封堵部40封堵所述流入孔32的位置，所述活塞杆122上与所述堵头112滑动配合的滑动配合部分1221位于所述过流腔31之外；在所述封堵部40处于所述第二位置时，所述活塞杆122回缩至能打开所述流入孔32的位置。

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