常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司冯磊获国家专利权
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龙图腾网获悉常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司申请的专利一种CVD衬底托盘结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255427U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422117892.5，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种CVD衬底托盘结构是由冯磊设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD衬底托盘结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及CVD衬底托盘技术领域，且公开了一种CVD衬底托盘结构，加热环圈嵌合安装于安装底座与导热盘座之间，加热台座的下部与导热盘座对位嵌合，顶部挡片嵌合安装于安装托盘的上部，在安装托盘的上部设置有加热台座，加热台座与导热盘座均采用良性导热材质且通过对位嵌合结构安装连接，通过加热台座与导热盘座间的定点接触传导可将热量集中传导至晶片的上部，可实现对晶片的高效快速加热，并且顶部挡片通过槽口嵌合安装在安装托盘的上部，通过顶部挡片可对安装托盘上部的非镀膜区域进行遮挡防护避免安装托盘粘附污物，清洁时只需将顶部挡片拆卸取下即可完成托盘结构的清洁操作，相比于传统的一体式托盘结构具有更好的清洁便利性。
本实用新型一种CVD衬底托盘结构在权利要求书中公布了：1.一种CVD衬底托盘结构，包括底座机构和托盘机构，其特征在于：所述底座机构设置于托盘机构的下部，所述底座机构包括安装底座1、加热环圈2和导热盘座3，所述加热环圈2嵌合安装于安装底座1与导热盘座3之间； 所述托盘机构包括安装托盘4、加热台座5和顶部挡片6，所述加热台座5设置有多个，所述加热台座5均匀安装于安装托盘4的上部，所述加热台座5的下部与导热盘座3对位嵌合，所述顶部挡片6嵌合安装于安装托盘4的上部，所述顶部挡片6遮蔽安装于安装托盘4的非镀膜区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司，其通讯地址为：213100 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区龙惠路7号D栋北一楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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